판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP는 실리콘, 유전체 필름 등 다양한 재료의 증착을 촉진하기 위해 설계된 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. AMAT Endura 5500 VHP 원자로는 공정 챔버를 사용하여 AMAT와 CVD '도핑' 가스의 조합을 사용하여 기판에 박막 층의 재료를 증착합니다. 그 후, 필름 증착 (film deposition) 이전의 빠른 어닐링 단계가 이어지며, 이는 증착 된 필름 레이어의 특성을 향상시킵니다. 원자로는 몇 가지 주요 구성 요소 (주 챔버, 상류 챔버, 기판 단계 및 가스 분사 장비) 로 구성됩니다. 초고 진공 (UHV) 시스템 인 메인 챔버 (main chamber) 는 기판 단계를 포함하고 증착 과정에서 높은 순도를 보장합니다. 업스트림 챔버에는 공정을 지원하는 다양한 가스 라인 및 구성 요소 (예: 인젝터 및 가스 라인) 가 포함되어 있습니다. 원자로에는 고정밀 제어 장치 (high precision control) 가 장착되어 있으며, 사용자가 기질의 흐름을 조절하고 기체를 도핑 (dope) 하여 균일하고 고품질의 증착을 보장합니다. 기판 온도는 또한 250 ° ~ 400 ° C의 조절 가능한 범위 사이에서 유지되는 석영 센서를 사용하여 정확하게 제어됩니다. 최적의 프로세스 안정성을 위해 조절 가능한 반응 챔버 압력도 유지됩니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP 원자로에는 안전 기능이 장착되어 있어 인근에 존재하는 모든 사람의 안전을 보장합니다. 여기에는 기계식 도어 인터록 (mechanical door interlock), 압력 변환기 (pressure transducer) 및 탈출 (escape) 버튼이 포함되어 있어 장치의 모든 부품이 제대로 작동하는지 확인합니다. 비상 가스 격리기 (Emergency Gas Isolation Machine) 와 화재 억제 도구 (Fire Suppression Tool) 원자로의 작동은 매우 효율적이며, 사용자는 높은 증착율, 뛰어난 정밀도, 반복성, 뛰어난 재료 품질을 달성 할 수 있습니다. 높은 처리량 및 완벽한 자동화 (full automation) 기능을 통해 다운타임을 최소화하여 생산량을 줄이고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한, 원자로는 안정적이고 내구성이 있으며 유지하기가 쉽습니다. Endura 5500 VHP는 다양한 재료 및 유전체 필름의 증착에 이상적인 선택입니다. 첨단 기능 (고정밀 제어, 안전 기능, 효율성, 내구성 등) 을 통해 CVD 업계에서 안정적이고 효율적인 선택이 가능해졌습니다.