판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9239684

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 높은 처리량, 정밀 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 증착로입니다. AMAT 엔두라 (Endura) 5500 HP는 광범위한 재료를 처리 할 수 있으며, 화합물 필름의 증착, 정확한 온도 및 가스 조절이 필요한 필름의 증착 등 도전적인 공정을 처리하도록 설계되었습니다. 원자로는 반도체, 유전체, 규소, 질화물, 태양 광 장치, 광학 시스템, 조명 응용 프로그램, 생의학 임플란트 등 다양한 재료에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP에는 RF 및 DC 용량 결합 소스와 다중 구역 분산 서셉터가 장착되어 있습니다. 독특한 서셉터 디자인은 콜드-존 (cold-zone) 가열 잠재력을 감소시키고 전체 기판에서 제한 된 온도 비 균일 성을 가능하게합니다. 원자로는 큰 전자 방출 면적을 가지고 있으며, 단일 웨이퍼 (single-wafer) 및 배치 (batch) 공정에서 안정적인 작동을 가능하게한다. 또한 특허를 획득한 이중 직접 외부 뷰포트를 통해 프로세스 제어 및 모니터링을 향상시킬 수 있습니다. Endura 5500 HP는 직관적이고 자동화된 제어 및 모니터링 시스템으로, 증착 매개변수를 빠르고 정확하게 제어할 수 있습니다. EcoPulse 및 Vision 기술은 사용자 환경 및 자동화 작업을 간소화하여 프로세스 시작 (start) 에 소요되는 시간을 줄여줍니다. 한편, 고급 온도 및 가스 흐름 제어는 정확한 증착 제어를 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 안정성이 뛰어나고 효율적이며, 향상된 RF 매칭 및 특허를 획득한 캐비티 기술을 활용하여 최고의 정확성과 균일성을 제공합니다. 높은 수준의 신뢰성을 통해 기존 시스템을 보완하고, 학습 곡선 (learning curve) 을 배양하지 않고도 생산량을 늘릴 수 있습니다. AMAT Endura 5500 HP를 선택하는 고객은 다운타임을 최소화하면서 높은 수익률과 탁월한 프로세스 반복성을 누릴 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 에너지 및 재료 소비를 최소화하도록 설계되었습니다. 활성 챔버 쿨러 (active chamber cooler) 는 헬름 홀츠 (Helmholtz) 원리를 활용하여 캐리어 가스 압력을 줄이는 반면, 저류 설계는 공정 가스를 운반하는 데 필요한 에너지를 최소화합니다. 이 시스템은 또한 습식 클린 (wet clean) 부품과 온보드 도량형을 갖추고 있어 비용과 폐기물을 모두 절약합니다. 엔두라 (Endura) 5500 HP는 대용량 프로세스와 우수한 프로세스 제어 및 신뢰를 요구하는 제조업체에 이상적인 선택입니다.