판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor는 반도체 에치 도구의 최신 AMAT 플래그십 라인입니다. AMAT Endura 5500 HP Reactor는 깊은 서브 미크론 IC 처리를 위해 설계된 고출력 멀티 챔버 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 원자로입니다. 5- 챔버 (Five-Chamber) 도구는 하나의 프로세스 모듈로 매우 다양하고 효율적으로 여러 장치 구조를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor는 고급 초고속 다중 레벨 금속 연결, 상호 연결, 로컬 상호 연결 및 고밀도 상호 연결을 통한 접촉을 처리하기 위한 전례없는 기능을 제공합니다. 5 챔버 (Five-Chamber) 도구는 2 구역/수직 스태거 가스 전달 시스템을 갖추고 있으며, 다양한 속도로 다양한 가스를 다른 처리 실로 정확하게 전달하도록 설계되었습니다. 추가 프로세스 개선을위한 액체 전달 시스템도 제공됩니다. Endura 5500 HP Reactor에는 각 챔버에 대해 독립적 인 온도, 압력 및 흐름 제어를 갖춘 7 개의 독립적으로 작동 된 PE-CVD 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 디지털 제어 시스템을 사용하면 프로세스 매개변수를 정확하게 사용자 정의하고 제어할 수 있습니다. 이 도구의 고출력 이온 소스 (ion source) 는 매우 얇은 게이트 산화물 처리를 가능하게하며, 미니스클 패턴의 높은 처리량을 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor는 온라인 이온 소스 측정, 엔드 포인트 레시피 확인, 데이터 통합 그래픽 등의 고급 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 통합합니다. 이러한 프로세스 기능은 습식 (wet) 클리닝 기능과 함께 5500 HP Reactor를 복잡한 구조의 효율적인 처리에 이상적인 도구로 만듭니다. AMAT Endura 5500 HP Reactor는 고급 IC 제조의 엄격한 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 포괄적 인 도구입니다. 고급 프로세스 기능, 높은 처리량, 독립적인 챔버 작동을 갖춘 APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor는 복잡한 프로세스 요구 사항을 충족하는 일관되고 안정적인 sub-micron 구조의 생산에 적합한 선택입니다.