판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #293767283
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ID: 293767283
빈티지: 2000
PVD System
Front cover
AC Power box
Compressor rack
System rack
Monitor rack
Heat exchanger
(2) Compressors
(3) Dry pumps
(2) Pallets
(2) Boxes
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 고급 박막 재료를 제작하기 위해 반도체 산업에 사용되는 첨단 화학 증기 증기 (CVD) 원자로 장비입니다. 반도체 산업을위한 장비 및 서비스 제공 업체 인 AMAT Inc. (AMAT Inc.) 가 설계 및 제조 한 AMAT Endura 5500 HP는 뛰어난 균일성과 제어를 갖춘 광범위한 박막을 배치하는 데 높은 성능, 다재다능성 및 신뢰성으로 유명합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 100mm ~ 300mm 범위의 여러 웨이퍼 크기를 수용할 수 있는 수평 배치 처리 챔버를 갖추고 있어 처리량이 높고 생산성이 향상됩니다. 원자로에는 고출력 RF 플라즈마 소스와 다양한 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 장착되어 있어 증착 과정 및 필름 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 엔두라 5500 HP (Endura 5500 HP) 의 주요 장점 중 하나는 고급 난방 기능으로, 섭씨 1000 도까지의 온도 조절이 가능하며, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 금속 필름 등 광범위한 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 (wafer) 표면에 균일 한 온도 분배를 보장하기 위해 웨이퍼 냉각 기능을 갖추고 있으며, 고품질의 스트레스가없는 필름을 제공합니다. 원자로에는 가스 흐름 속도, 온도, 압력, RF 전력 등의 주요 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하는 고급 공정 제어 장치 (Advanced Process Control Unit) 가 장착되어 있어 필름 품질과 두께가 일관되게 유지됩니다. 또한, 이 기계는 직관적 인 소프트웨어가있는 사용자 친화적 인 인터페이스 (interface) 를 특징으로하여 운영자는 다양한 필름 유형과 두께에 대한 증착 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 최적화 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 또한 안전 및 신뢰성을 염두에 두고 설계되었으며, 프로세스 편차 및 장비 장애를 방지하기 위해 여러 안전 연동과 fail-safe 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이 도구는 프로세스 제어 및 자동화 (process control and automation) 에 대한 엄격한 산업 표준을 충족하도록 설계되었으며, 예금 된 필름이 반도체 장치 제조에 필요한 사양을 충족시킵니다. 유지 보수 및 서비스 측면에서 AMAT Endura 5500 HP는 편리한 액세스 및 서비스 용이성을 제공하도록 설계되었으며, 필요에 따라 쉽게 교체하거나 업그레이드할 수 있는 모듈식 (modular) 구성요소를 갖추고 있습니다. 응용 자료 (APPLIED MATERIALS) 는 또한 종합적인 교육 및 지원 서비스를 제공하여 운영자가 원자로 성능 및 가동 시간을 극대화할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 다재다능하고 신뢰할 수있는 CVD 원자로 자산으로, 반도체 업계의 고급 박막 재료의 증착을 위해 고성능, 정밀 제어 및 유연성을 제공합니다. 엔두라 5500 HP (Endura 5500 HP) 는 첨단 기능과 검증된 실적을 바탕으로 차세대 디바이스에 대한 고품질 박막 증착을 추구하는 반도체 제조업체에게 선호되는 선택입니다.
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