판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 300mm Chamber #9125373

AMAT (APPLIED MATERIALS) Endura 300 mm Chamber는 생산 급 화학 증기 증착 웨이퍼 원자로로, 얇은 필름을 유연하고 정확하게 증착하여 웨이퍼 및 기타 기판을 기질화합니다. 이 혁신적인 화학 증기 증착 장비는 반도체, LED, 마이크로 전자 기계 시스템 및 광전자 응용을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 결정 성 박막 (thin film) 의 저압, 최적의 증기 흡수를 위해 제어 된 온도, 정밀한 플럭스 제어 (flux control) 로 재료를 증착 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 300 mm Chamber에는 높은 정확도의 진공 봉인, 자동 정밀 가스 분사 장치 및 재료 공급 매니 폴드가있는 수직 원자로 챔버가 포함되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 기판 전체에 균일 한 박막 증착을 허용합니다. 자동화된 가스 인젝터 머신 (automated gas injector machine) 은 가스 이송 유량을 정확하게 제어하고 조절함으로써 정확하고 반복 가능한 증착을 보장합니다. 피드 매니 폴드 (feed manifold) 는 전체 웨이퍼 표면적에서 정확하고 균일 한 가스 분포를 가능하게하여 필름 특성의 변동성을 방지합니다. 또한, 원자로 는 기판 "히터 '와 용광로" 니크롬' 가열 요소 모두 에 대해 독립적 인 온도 조절 장치 를 갖추고 있어서, 정밀 한 온도 조절 과 최적 의 증기 흡수 가 가능 하다. 이 챔버에는 통합 프로세스 제어 로드 락 (loadlock) 이 있어 증착 시간이 단축되고 생산 처리량이 증가합니다. 또한, 자기 정렬 자기 부양 베어링은 최소 전송 런아웃을 가능하게하여 정확하고 균일 한 필름 증착을 허용합니다. AMAT Endura 300mm Chamber의 전체 디자인은 고품질 박막의 효율적인 증착에 중점을 둡니다. 이 고급 챔버는 복잡한 패턴과 기본 단일 레이어 기판을 모두 어려움 없이 처리 할 수 있습니다. 다른 기존 증착 시스템보다 빠르고, 더 안정적이며, 비용 효율적이며, 높은 처리량 생산 마스크 및 틈새 재료 증착에 이상적인 선택입니다.