판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9298227

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 반도체 웨이퍼의 고온 확산 및 산화에 사용되는 단일 웨이퍼 수직 확산로 (VDF) 장비입니다. AMAT Endura 2는 기술, 안전 및 생산성 혁신을 통합했습니다. 300mm 웨이퍼를 수용하도록 설계된 직경 9 인치, 서셉터리스 체인 컨베이어가 있습니다. 독립적 인 압력 및 온도 조절을 갖춘 별도의 대기를 제공하는 2 개의 전면 도어가 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 2는 고품질 프로세스 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 인시 투 산화를 위해 질소/증기 또는 수소/증기 혼합물의 자동 제어를 수행하는 통합 된 자동 가스 (auto-gassing) 시스템이 있습니다. Endura 2에는 터치 스크린 호스트 컴퓨터가 장착 된 강력한 임베디드 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 이 조합을 통해 프로세스 엔지니어는 여러 레시피를 동시에 구성하고 효율적으로 실행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 안전성과 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 고급 오퍼레이터 도어 인터록 (advanced operator door interlock) 과, 도어가 열려 있으면 장치를 중지하는 fail-safe door 센서 (fail-safe door sensor) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 챔버에는 빠른 냉각 및 최소 열 충격을위한 냉장 냉각기 (coolant machine) 가 장착되어 있습니다. AMAT Endura 2는 생산성이 높으며, 쉬운 부품 해치로 인해 작업 간에 빠르게 변경됩니다. 레시피 설정 시간을 단축하고 주기를 빠르게 시작하는 RapidStart 기술이 있습니다. 또한 DeepTemperature Control은 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 이 기술을 통해 프로세스 엔지니어는 기존의 난방 방법 (heating method) 에 의해 도달하기 어려운 기판 영역 내에서 온도 및 온도 기울기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 2는 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 고급 프로세스 벨로우 (bellow) 및 플라즈마 클리닝 (plasma-cleaning) 기능을 통해 높은 수준의 깨끗함을 유지할 수 있습니다. 엔두라 2 (Endura 2) 는 표준 프리 풀 (precool) 충전 및 배수 포트와 보조 포트를 사용하여 외부 소스의 오염을 줄입니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 반도체 웨이퍼의 고온 확산 및 산화를위한 고급적이고 신뢰할 수있는 VDF 도구입니다. 이 제품은 생산적이고 안전한 자산으로, 엔지니어가 여러 가지 레시피를 동시에 구성하고 효율적으로 실행할 수 있게 해 줍니다. AMAT Endura 2는 오염을 줄이기 위해 기능으로 설계되었습니다.