판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9220549

AMAT/APPLIED MATERIALS 엔두라 2 (Endura 2) 는 첨단 원자로 기술의 최신 혁신을 의미하며, 다양한 재료 및 박막 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 이 다중 영역, 초고성능 PECVD 장비는 5 개의 공정 챔버를 갖추고 있으며, 이 프로세스챔버에는 몇 개의 Angstroms 및 최대 25 미크론 두께의 필름에 통합 솔루션을 제공합니다. AMAT Endura 2의 고성능 증착실은 모든 고급 기능 및 고품질 배포를 포함합니다. 이 멀티 존 챔버 (multi-zone chamber) 에는 전체 기판에 걸쳐 증착을 균일하게 유지하는 독특한 흐름 분포 기술이 장착되어 있습니다. 챔버에는 정확한 범위를위한 통합 균일 제어 시스템도 포함되어 있습니다. 이 기술은 최대 1,100m/min의 프로세스 속도로 처리량이 높은 생산 프로세스를 유지할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 2는 최첨단 플라즈마 소스로 설계되어 놀라운 필름 증착률을 제공합니다. 고급 플라즈마 소스 (plasma source) 와 자기장 (magnetic-field) 기술은 기판 온도를 정확하게 제어하여 균일성과 뛰어난 공정 안정성을 제공합니다. 또한 PECVD 챔버 (PECVD Chamber) 에는 실시간 입자 제어 및 포스트 프로세스 클리닝 기술이 적용되어 있어 다양한 어플리케이션의 품질을 극대화할 수 있습니다. 엔두라 2 (Endura 2) 는 또한 통합 플라즈마 에치 챔버 (plasma etch chamber) 와 CD 도량형 챔버 (CD metrology chamber) 를 제공하여 효율성과 효율성을 극대화하기 위해 두 기능을 서로 함께 사용할 수 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 에는 고급 듀얼 챔버 기술이 적용되어 사이클링 시간이 단축되고 프로세스 정확도가 향상됩니다. CD 도량형 챔버는 필름 특성 및 두께를 평가하기위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 많은 고급 프로세스에 이상적인 선택입니다. 이 종합 장치 (Comprehensive Unit) 에는 균일 한 웨이퍼 배포를 제공하고 안전성과 효율성을 향상시키는 자동 기판 처리기가 있습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 를 통해 머신은 프로세스 제어를 용이하게 하고 신속하게 최적화할 수 있습니다. AMAT Endura 2는 또한 타사 자동화를 지원하여 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 툴의 첨단 프로세스 기술 통합 (Advanced Integration of Process Technologies) 은 반도체 업계의 어려운 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.