판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827431

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 고정밀 재료 증착 및 건식 에칭을위한 고급 플라즈마 공정 기술을 적용하는 특수 원자로입니다. 원자로 (Reactor) 에는 특히 광범위한 잠재적 인 응용 프로그램이 있으며, 가장 복잡한 나노 구조 (nanosstructure) 의 제작을 지원하는 포괄적인 프로세스 기능과 성능 특성을 제공합니다. AMAT 엔두라 2 (Endura 2 Reactor) 의 핵심에는 고유 한 플라즈마 기술이 있으며, 이는 사전 적재 된 레시피에 비해 뛰어난 프로세스 재생성과 정밀 제어를 제공합니다. 이 기술은 가장 어려운 에칭 및 증착 요구 사항 (예: 정밀한 금속, 산화물 또는 유기 필름 침착물을 다양한 크기의 기판에 요구하는 나노 구조) 을 충족하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura 2는 또한 다양한 프로세스 솔루션 기능을 제공합니다. 여기에는 단일 실행의 멀티 스텝 처리와 원자로의 웨이퍼 캐리어 장비 (옵션) 를 사용한 순차 처리가 포함됩니다. 증착 형 공정의 경우, Endura 2는 최대 4 개의 가스 소스를 특징으로하며, 에칭 공정의 경우, 시스템에 플라즈마 보조 에치 셀이 장착됩니다. 또한 입자 분석, 환류 온도 모니터링 및 통합 석영 결정 마이크로 밸런스 (QCM) 와 같은 고급 진단을 제공합니다. 원자로는 특별한 엔지니어링 고려 사항으로 제작되었습니다. 이 장치는 고급 fume 추출, 사용자 정의 Substrate Transfer Robot 인터페이스 및 최대 4x10-7mbar 의 압력 범위를 허용하는 진공 머신 (vacuum machine) 과 같은 여러 주요 구성 요소로 생산에 최적화 될 수 있습니다. 또한 초대형 챔버 (extra-large chamber) 를 갖추고 있으며 챔버 내부의 공간을 제한하지 않고 여러 프로세스 레시피와 레시피를 동시에 사용할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 안정적이고 안정적인 프로덕션 환경을 통해 탁월한 도구 성능과 가동 시간을 제공합니다. 여기에는 추가 프로세스 모니터링 기술, 통합 웨이퍼, 웹 처리 기능, 정교한 사전 조절 레시피 등 몇 가지 혁신적인 기능이 포함됩니다. 이러한 기능은 결합되어 최고의 품질 (Quality) 프로세스 성능 및 생산성을 보장하도록 설계되었습니다. AMAT 엔두라 2 (Endura 2) 는 고급 나노 구조 요구를 충족시키기 위해 신뢰할 수있는 고정밀 원자로를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 탁월한 반복성 (repeatability) 과 사전 로드된 레시피에 대한 정확한 제어를 제공하면서 탁월한 유연성과 확장성 (확장성) 을 제공하도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 나노 기술 공간 (nanotechnology space) 의 우위를 확보하려는 제조 실험실 또는 연구 실험실을위한 필수품 도구입니다.