판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827408
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ID: 293827408
빈티지: 2015
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Part number / Description
0410-10000 / System, 12"
FAM300E2 / MDP E2 Endura, 12"
0415-10014 / -
0415-10346 / Impulse AIN
0415-10046 / Dual mode degas
0415-10054 / RGA Manual valve
0395-09095 / Infopad pos A or B
0395-09026 / E78 Ionizer
0395-09073 / Upper E84 Data logging sensors and cables
0395-09071 / TIRIS with RF E99 Carrier ID
0395-00114 / Operator access switch
0395-09056 / Remote flat panel monitor on stand
0395-09007 / Effective 75 Feet with 66 Feet
0415-10080 / Umbilical’s 75 Feet Mainframe to equipment rack
TR-STND-22 / Standard training package
WT-12MO / Standard 12-month warranty
0415-10082 / FIF Generic kit
0415-10089 / Lifting aids
0415-10090 / Maintenance lift
0395-09029 / FI Align and levelling tool kit
0395-09039 / Ionizer calibration tools
0395-09055 / Outrigger levelling tools
0395-09031 / FI Service lift
0395-09123 / Load Port Service Tool (7) Salop
0395-09013 / Controller recovery tools
0395-09066 / YAT Teach tools, 12”
0415-10288 / Cons kit - Impulse
0415-10313 / Shutter disk, ESC, Ti, AL Arc spray
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2는 반도체 재료를 위해 안정적이고 비용 효율적인 처리 능력을 갖춘 제조업체를 제공하는 고도의 냉벽, 단일 웨이퍼, 생산 급 원자로입니다. 원자로는 최대 1120 'C의 온도 조절을 특징으로하며 최대 7-7 torr의 압력 및 온도 조절을 제공합니다. 이를 통해 단일 웨이퍼 증착, 원자층 증착 (ALD), 화학 증착 (CVD) 및 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 와 같은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 원자로는 최대 30 인치 웨이퍼 (wafer) 까지 수용할 수 있도록 설계되었으며, 원자로 (reactor) 를 원하는 처리 요구사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 일련의 기능이 포함되어 있습니다. 예를 들어, AMAT Endura 2는 혁신적인 자기 청소 쇼어 헤드 (showerhead) 를 특징으로하여 공정 챔버의 오염을 최소화하고 공정 inseam의 균일성을 보장합니다. 또한 열 제어 장비 (thermal control equipment) 와 다중 밸브 (Valv) 가 포함되어 있어 시스템의 가스 흐름과 온도를 조정할 수 있습니다. 또한, APPLIED MATERIALS 엔두라 2 (APPLIED MATERIALS Endura 2) 에는 비활성 이중 링 배기 장치 (inert dual-ring exhaust unit) 가 포함되어 있습니다. 공정 제어 측면에서, 원자로에는 표본 온도, 압력, 가스 흐름, 파형 등의 매개 변수를 측정하는 데 도움이되는 독특한 스마트 테스터 (smart tester) 가 제공됩니다. 이를 통해 안정적인 프로세스 최적화 및 균일성을 보장할 수 있습니다. Endura 2에는 직관적이고 편리한 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 도구 설정과 제어를 단순화합니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2에는 각 프로세스 사이클 사이의 모델을 철저히 청소하는 효율적인 청소 자산이 포함되어 있습니다. 원자로는 또한 핫 월 (Hot-Wall) 과 같은 시험 기능에 대한 다양한 옵션과 프로세스 효율성을 극대화하는 페레 서라이제이션 (Peressurization) 과 같은 고급 응용 프로그램 별 기능을 제공합니다. AMAT 엔두라 2 (Endura 2) 는 제조업체에 엄청난 성능과 비용 효율성을 제공하는 놀랍도록 고급적이고 안정적인 반도체 처리 원자로입니다. 이 제품은 신뢰할 수 있는 온도, 압력, 가스 흐름 제어, 직관적인 GUI 인터페이스, 효율적인 청소 장비를 갖추고 있으며, 모두 반도체 재료의 효율적이고 균일한 처리를 보장합니다.
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