판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9204831

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN은 차세대 고온 단일 웨이퍼 화학 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 시스템은 최적 생산성 (Optimum Productivity) 을 위해 제작되었으며, 고급 프로세스에 이상적인 솔루션을 제공하는 기능과 기능을 갖추고 있습니다. AMAT Endura 2 DSTTN은 독특한 하단 대류 설계를 가지고 있으며, 보다 전통적인 상단 지향 설계에 비해 균일성이 향상되고 프로세스 내성이 향상되었습니다. 엔두라 2 (Endura 2) 에는 독립적으로 프로그래밍 가능한 단일 웨이퍼 로드 잠금 장치 2 개가 장착되어 있으며, 다른 카세트는 처리되는 동안 카세트를 언로드할 수 있습니다. 이 이중 종료 로드 잠금은 처리량을 높이고 효율적인 2단계 프로세스를 지원합니다. 엔두라 2 (Endura 2) 에는 '핫 월 (hot wall)' 가구가 있으며, 챔버 벽에 내장 된 전기 히터를 사용하여 증착 과정에 필요한 열을 정확하게 전달합니다. Endura 2는 고급 웨이퍼 투 웨이퍼 일관성, 우수한 플라즈마 균일 성 및 강력한 프로세스 범위를 자랑합니다. 이 시스템은 고급 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 제공하여 전체 운영 환경에서 최고 수준의 반복성과 안정성을 보장합니다. 실라이제 (silicide) 및 질화 티타늄 (titanium nitride) CVD와 같은 고온 공정에 특히 효과적 인 것으로 입증되었습니다. Endura 2는 또한 전통적인 300mm 실리콘 웨이퍼에서 GaN-on-Diamond 및 CaF2-on-Diamond를 포함한 새로운 최첨단 유리 및 금속 기판까지 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 독특한 듀얼 단일 웨이퍼 (dual single wafer) 설계를 통해 두 원자로 반을 개별적으로 제어 할 수 있으며, 서로 다른 기판 유형에 대한 사용자 정의 프로세스를 허용합니다. 또한, Endura 2에는 성능을 더욱 신뢰할 수있는 몇 가지 추가 기능이 있습니다. 챔버 청결성을 향상시키기 위해 추가 HEPA 필터링 에어록 (airlock) 이 장착되어 있으며, 프로세스 조건에 맞게 E-beam을 자동으로 조정하는 자동 교정 기능이 있습니다. 또한 Endura 2는 모듈식 설계를 제공하여 사용자가 쉽게 구성 요소를 업그레이드 할 수 있습니다. 이 모든 기능은 엔두라 2 (Endura 2) 를 시장에서 가장 고급 고온 CVD 원자로 중 하나로 만듭니다. 사용자 친화적 인터페이스와 직관적인 소프트웨어를 갖춘 엔두라 2 (Endura 2) 는 고급 증착 프로세스를 위한 최고의 솔루션을 제공합니다.