판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9226622

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 고급 재료 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 혁신적인 원자로입니다. 진공 챔버, 기판 히터, 다양한 공정 레시피를 지원할 수있는 고 전력 전기 장치 (high power electrical unit) 로 구성된 에피 택시 증착 시스템입니다. AMAT Enabler (AMAT Enabler) 를 사용하면 재료 구성 프로세스를 더 잘 제어할 수 있으며 스퍼터링, 에칭, 클리닝 등의 기판 전처리를 수행 할 수 있습니다. 또한, 건식 및 습식 공정을 통한 복잡한 III-V 및 II-VI 화합물 필름뿐만 아니라, 화합물 반도체 재료의 성장에 적합하다. APPLIED MATERIALS Enabler에는 다른 산업 원자로에서 눈에 띄는 몇 가지 특징이 있습니다. 천장 높이가 낮습니다. 즉, 크기가 작고 소규모 처리에 더 적합합니다. 이 원자로는 또한 설치 프로세스를 대폭 간소화하는 통합 및 모듈식 구조를 특징으로합니다. 또한, Enabler 는 안정성이 매우 뛰어나며 생산량을 50 ~ 70% 까지 높일 수 있습니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 고급 자동 온도 매핑 기술 덕분에 전체 웨이퍼에 걸쳐 우수한 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 섭씨 +/- 0.1 도의 인상적인 정확도로 고온 환경을 유지할 수 있습니다. 이 성능은 여러 센서와 액추에이터를 원자로에 통합하고 균일성을 유지하는 통합 폐쇄 루프 제어 시스템 (closed-loop control system) 에 의해 활성화됩니다. 마지막으로 AMAT Enabler의 고급 공정 레시피는 화합물, 산화물, 질화물, 붕산염 등 다양한 물질을 사용합니다. 또한 수백 개의 옹스트롬에서 수 밀리미터 (mm) 에 이르는 두께를 가진 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 또한, 최적화된 생성기 회로를 사용하면 레이어 품질을 저하시키지 않고 프로세스 시간이 줄어듭니다. APPLIED MATERIALS Enabler (APPLIED MATERIALS Enabler) 는 고급 재료 처리의 요구를 충족하도록 설계된 혁신적인 원자로입니다. 탁월한 성능을 제공하며, 다양한 산업 분야에서 사용할 수 있습니다.