판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9215091

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AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler
판매
ID: 9215091
웨이퍼 크기: 12"
Oxide etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 반도체 장치 제작을 위해 고품질의 박막 (Thin film) 을 제공하도록 설계된 증착로입니다. 원자로는 에치 (etch) 또는 증착 (deposition) 응용 프로그램에 사용될 수 있으며, 프로세스 다용도, 정밀 제어 및 최적화 된 결과에 중점을 두어 설계되었습니다. AMAT Enabler는 증착 프로세스를 더 잘 제어 할 수있는 여러 하위 시스템을 제공합니다. 여기에는 이중 주파수 전자 레인지 생성기, 정확한 온도 조절 및 재순환을 통한 프로세스 최적화가 포함됩니다. 이중주파 (Dual-Frequency) 생성기를 사용하면 필름 재료나 프로세스 단계에 따라 주파수를 10MHz ~ 2.45GHz 사이에서 쉽게 변경할 수 있습니다. 온도 제어는 고급 저소음 팬에 의해 유지되며, 챔버 벽의 균일 한 가열을 보장하도록 설계되었습니다. 추가 재순환 시스템은 시스템의 가능성을 더욱 증가시키고, 공정 챔버 전체에서 더 나은 온도 조절 (temperate control) 및 균일 성 (unifority) 을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Enabler (APPLIED MATERIALS Enabler) 원자로는 다양한 표준 증착 재료를 제공하여 다양한 박막 증착 응용 프로그램을 제공합니다. 여기에는 폴리 실리콘, 실리사이드, 질화물, 도핑 된 비정질 실리콘 및 기타 많은 고성능 재료와 같은 재료가 포함됩니다. 이 범위는 MEMS, LED, CMOS 및 나노 재료와 같은 다양한 기술에 이상적입니다. 또한 Enabler 는 프로세스 시간을 최소화하는 지속적인 증착 (continuous deposition) 방법을 사용하여 효율성이 높습니다. 이를 통해 더 많은 장치를 더 적은 시간에 생산할 수 있습니다. 즉, 품질 (quality) 을 희생시키지 않고도 더 많은 가치를 얻을 수 있습니다. 또한, 원자로는 많은 주변 장치 (예: 대량 흐름 컨트롤러) 와 통합되고 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 설치 작업을 간소화하고, 기능을 신속하게 구성할 수 있으며, 프로세스 변경과 출시 시간을 단축할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALER (AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler) 는 고급 박막 증착 프로세스를 위해 안정적이고 반복 가능한 성능과 정확한 제어를 제공합니다. 최신 반도체 (Semiconductor) 제작에 필요한 프로세스 성능을 제공할 수 있으며, 다양한 소재와 최고의 유연성과 호환성을 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 따라서, 최소한의 시간대에 고품질 장치를 생산하려는 사람들에게 귀중한 다목적 도구입니다.
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