판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 반도체 및 광전자 응용 프로그램을위한 박막 증착을 촉진하기 위해 설계된 최첨단 고효율 원자로입니다. 이 장비는 광범위한 증착 화학 물질 및 재료 조합, 높은 처리량, 높은 공정 반복성을 제공합니다. AMAT Enabler는 PPC (Programmable Process Controller) 를 통해 뛰어난 유연성을 제공하므로 사용자가 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 설정하고 원자로 작동을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS의 핵심에는 고급 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 소스가 있습니다. 이 "소오스 '는 저압 으로 작용 하여 다른 종류 의" 소오스' 보다 더 높은 속도 로 그리고 더 높은 균일성 으로 물질 을 증착 시킬 수 있는 "에너지 '적 인 종 을 형성 할 수 있게 한다. 그런 다음, 조절 가능한 매그 제트 시스템 (mag-jet system) 에 의해 방전이 성장 표면으로 운반되는데, 이는 전체 기판에 균일 한 입자 플럭스를 생성하도록 설계되었습니다. 이 단위는 또한 실리콘 질화물 (silicon nitride) 또는 갈륨 비소 (gallium arsenide) 와 같은 어려운 필름을위한 조절 가능한 고 에너지 영역을 만드는 데 사용될 수있다. 일관된 프로세스 결과를 얻기 위해 Enabler에는 프로그램 가능한 가스 블렌딩 머신 (gas blending machine) 과 과압 보호 (overpressure protection), 자동 가스 동작 제어 (automated gas motion control) 가 장착되어 있습니다. 이것은 가스 라인 교차 오염 및 가스 섭취 문제를 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 이 도구는 총 3 개의 프로세스 영역으로 설계되었습니다. 이러한 영역은 균일성을 최적화하기 위해 역V (Inverted-V) 구성으로 배열되어 전체 기판 크기에 걸쳐 균일 한 증착을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALER는 포괄적인 프로세스 진단 기능도 제공합니다. 원자로 환경을 유지하고 프로세스 매개변수 (예: 압력, 온도, 유속) 를 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 증착 프로세스를 최적화하고 결함을 최소화 할 수 있습니다. 또한, 광학 피로미터 (optical pyrometer) 는 프로세스 최적화를 위해 기판을 가로 질러 측면 온도 프로파일을 측정하는 데 사용될 수있다. AMAT Enabler는 고품질의 박막 증착 기능을 제공하도록 설계된 모든 기능을 갖춘 사용자 친화적 증착 자산입니다. 고효율, 다용도, 종합적인 진단 (diagnostic) 기능을 활용하여 다양한 재질과 조합을 반복 가능한, 고품질의 결과물로 배치할 수 있습니다. 사용자는 PPC 를 통해 프로세스 매개변수 설정, 원자로 작동 모니터링, 증착 프로세스 최적화 등을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 따라서 APPLIED MATERIALER는 고품질 박막 반도체 및 광전자 응용 프로그램을 만드는 데 유용한 모델입니다.