판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093619

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 고급 반도체 재료를 제작할 수 있도록 설계된 특수 원자로입니다. 고온 증착 (High Temperition), 에칭 (Etching) 등 업계에서 가장 까다로운 과제를 해결하는 데 필요한 환경 관리, 프로세스 유연성, 처리량 기능을 제공합니다. AMAT Enabler (AMAT Enabler) 는 통합 기본 챔버, 재료 소스 및 운송 시스템을 수용하는 이동식 헤드, 프로세스 제어에 필요한 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이 챔버 (Chamber) 는 처리량을 극대화하고 다양한 프로세스에 대한 제어 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 확장 가능한 헤드 (extendable head) 는 챔버 간의 소스를 빠르게 이동시켜 광역 처리 (wide area processing) 에 대한 뛰어난 균일성을 보장합니다. 약실은 또한 고온 강착 및 에칭을 허용합니다. 이 시스템은 최대 800 ° C의 온도를 달성하도록 설계되어 고급 물질에 대한 고품질의 산화 (oxidation) 및 질화 (nitridation) 과정을 가능하게합니다. 고온 능력은 또한 기판에서 다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) 및 기타 나노 컴포지트 필름 증착의 가능성을 열어줍니다. APPLIED MATERIALS Enabler (APPLIED MATERIALS Enabler) 에는 웨이퍼 온도를 조절하고 고성능 장치에 필요한 균일성을 보장하는 선구적인 에너지 하드웨어가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 전자 폭격 (EB) 또는 고속 사이클 유도 난방 시스템을 사용하여 가열됩니다. 두 시스템 모두 빠른 열 주기를 제공할 수 있으며, 온도 그라디언트 (gradient gradient) 로 인한 불안정화 효과를 줄일 수 있습니다. 또한 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 를 지원하여 제조 과정에서 필요에 따라 챔버의 모든 중요한 매개변수를 모니터링하고 조정합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 엔지니어가 수동으로 조정하지 않고도 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 고급 반도체 재료를 만드는 데 도움이되는 빠르고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 통합된 구성 요소, 방대한 어플리케이션 범위, 뛰어난 제어 기능을 통해 반도체 제조업체를 위한 '원형적 솔루션' 으로 자리잡았습니다.