판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293753880

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 다양한 재료를 처리하기 위해 설계된 고급 고온 열 원자로입니다. 이 원자로는 플라즈마 강화 CVD (Plasma Enhanced CVD) 또는 화학 증기 증착 원자로라고도하며 주로 반도체 산업에서 사용됩니다. 플라즈마 (Plasma) 생성 소스를 수용하고 석영 벽 배열로 둘러싸인 중앙 처리 챔버 (Central Processing Chamber) 가있는 멀티 챔버 장비입니다. "챔버 '벽 은 일관성 있게 높은 온도 를 유지 하고" 챔버' 전체 에 균질 한 열 의 분포 를 보장 하기 위해 절연 되어 있다. 이 "시스템 '은" 마이크로칩' 이나 "웨이퍼 '에 박막 이나 외투 층 의 증착 을 조절 하도록 설계 되었다. 이것은 산소, 질소, 가스 도핑 실리콘 또는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 통해 이들의 조합을 전달함으로써 달성된다. ICP 소스는 필수 이온화 된 입자 또는 이온을 생성하도록 설계되었으며, 이온은 기판 표면을 향해 향한다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 과 이온화 된 입자 사이 에 반응 을 일으키며, 그 결과 열 이 발생 하여 기질 에 층" 필름' 이 증착 된다. AMAT Enabler는 여러 가지 안전 기능을 고려하여 설계되었습니다. 이 장치는 업계 표준 압력 및 온도 요구 사항을 충족하도록 테스트되었으며 최대 1000 ° C의 피크 온도 (Peak Temper) 를 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 유압 셔터 (hydraulic shutter) 와 고급 압력 (Advanced Pressure) 및 온도 조절 메커니즘을 장착하여 증착 과정을 정확하게 제어 및 모니터링 할 수 있습니다. 이 도구는 높은 증착 속도를 제공하도록 설계되었으며 실리콘, 티타늄, 텅스텐 (tungsten) 등을 포함한 다양한 금속 및 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 원자로는 유연성 (Flexibility) 과 에너지 효율성 (Energy Efficiency) 기능을 높게 평가받으며, 다양한 반도체 제조 및 엔지니어링 어플리케이션을 위한 안정적인 선택입니다.