판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293594345

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler는 박막과 같은 고급 재료를 제조 할 수있는 고온, 고압 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. AMAT Enabler는 수평 및 수직 위치 모두에서 작동 할 수 있으며, 반도체 장치에서 microelectromechanical system (MEMS) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Enabler의 중심에는 반응성 가스를 도입하여 화학 반응을 유도하는 밀봉 된 반응 챔버 (sealed reaction chamber) 가 있습니다. 챔버에는 2 개의 완전 조절 가능한 가스 입구 라인과 2 개의 조절 가능한 배기 라인이 장착되어 있어 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 챔버에는 안전하고 성공적인 작동을 보장하기 위해 진단 및 안전 기능 (예: 압력 게이지, 온도 센서) 이 장착되어 있습니다. 재료 처리의 경우, Enabler는 주입된 반응물을 사용하여 기판에 박막 (thin film) 을 입금하는 프로세스 인 CVD를 사용합니다. 이 과정은 좋은 단계 적용 범위 및 레이어 균일성을 제공하기 때문에 유리하며, 반도체, 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 물질과 호환됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALER Enabler의 반응 챔버는 고압 및 고온 작동을 위해 설계되었습니다. 최대 작동 온도는 1200 ° C이며 압력 범위는 1에서 대기까지입니다. 약실은 웨이퍼, 다이 및 MEM 장치를 포함한 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. AMAT Enabler는 또한 구성 능력이 뛰어나 가열된 감수기, 리프트 오프 소스, 전자 빔 (e-beam) 증발기 등 다양한 소스를 활용할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 다른 반응 환경과 재료를 실험할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Enabler는 재료 제작 및 연구를위한 고급적이고 강력한 도구입니다. 사용자 친화적인 설계, 견고한 구성, 사용자 정의 기능을 통해 모든 실험실 또는 생산 시설에 귀중한 자산이 됩니다.