판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658

AMAT/APPLIED MATERIALT Electra는 효율적인 박막 증착 시스템 패밀리에 속하는 대규모 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 다재다능한 원자로는 금속, 산화물, 질화물, 탄화물을 유리, 필름, 세라믹, 폴리머와 같은 단단하고 유연한 기판에 모두 포함시키는 다양한 재료 층을 침전하도록 설계되었습니다. AMAT Electra의 효율적인 성능은 자동화된 웨이퍼 처리, 실시간 튜닝, 현장 프로세스 모니터링 (in-situ process monitoring) 과 같은 통합 프로세스 제어 기능으로 구현됩니다. APPLIED MATERIALA는 3 가지 주요 부품을 사용하여 기판 표면에 초박막 (밀폐 된 가스 흐름 장비, 터보 분자 펌프 및 저압 진공 챔버) 을 배치합니다. 동봉 된 가스 흐름 시스템에는 가스 입구 (gas inlet) 와 배기 흐름 (exhaust flow) 을 모두 위해 설계된 가스 입구와 콘센트의 조합이 포함되어 있습니다. 이 장치는 Electra 반응 챔버에 정확하고 지속적으로 제어 된 가스 공급을 제공합니다. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 는 반응 챔버에 연결된 독립적 인 서브 시스템이며, 그 목적은 챔버를 CVD 처리에 적합한 압력 범위로 대피시키는 것이다. 마지막으로, 저압 챔버 (low-pressure chamber) 는 독립적 인 격리실을 포함하는 통합 배기 기계가 장착 된 절연체입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Electra Reactor는 광범위한 기판 재료 위에 광범위한 재료 층을 증착 할 수 있습니다. 이 도구는 4E-04보다 우수한 균일성 지수 (Reflection High-Energy Electron Diffraction 측면에서 측정) 로 뛰어난 필름 균일성을 제공합니다. AMAT Electra (예: 금속 산화물, 질화물 필름 및 다층 시스템) 에서 많은 다른 필름을 연구 할 수 있습니다. 이 원자로 (Reactor) 의 다양성은 다양한 표면 형태를 형성하는 유연성 (Flexibility) 에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 고객 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. APPLIED MATERIALTA는 프로세스 최적화 및 제어를 위한 다양한 기능도 제공합니다. 실시간 튜닝 (real-time tuning) 기능을 통해 다양한 조건에서 증착 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한, 현장 모니터링 (in-situ monitoring) 기능을 통해 운영자는 레시피 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 문제를 빠르고 효율적으로 진단할 수 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 처리는 다운타임을 최소화하고 처리량을 극대화하는 데 도움이 됩니다. 결론적으로, Electra 는 다양한 기판에 초박막 (ultra-thin film) 을 배치하는 기능을 제공하는 고급 CVD 자산입니다. 광범위한 가스 흐름 및 프로세스 최적화와 같은 AMAT/APPLIED MATERIALS Electra의 기능은 효율적인 증착을 위해 연속 및 자동 작동을 모두 가능하게합니다. AMAT 일렉트라 (AMAT Electra) 는 금속 산화물, 질화 필름, 다층 시스템 등 다양한 박막 응용 분야에 적합하여 가장 다양한 증착 시스템 중 하나입니다.