판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980

AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 정확하고 정밀한 야금 구조의 생산을 위해 특별히 설계된 고급 금속 산화물 플라즈마 에칭 도구입니다. AMAT DxZ Reactor는 복잡한 야금 구조의 생산을 위해 알루미늄, 구리 및 기타 산화물과 같은 물질의 효율적이고 고밀도 플라즈마 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 저압 수소 기반 플라즈마에 직류 (DC) 전압의 적용을 사용합니다. DC 파워는 고주파 (HF) 와 저주파 (LF) 파를 주기적으로 결합하는 발진기에 의해 생성되며, 공정 전체에서 이온 및 급진적 종의 고도로 균일 한 분포를 유지하면서 에치의 크기, 모양 및 밀도를 조정 할 수있다. HF 및 LF 파의 조합은 단일 주파수 (single-frequency) 공정으로 달성 할 수있는 것보다 향상된 에치 균일 성과 더 높은 에치 속도를 갖는 효율적인 에칭 프로세스를 초래한다. DxZ 원자로 (DxZ Reactor) 는 피드백 신호를 사용하는 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 에 의해 제어됩니다. 피드백 (feedback) 은 에칭 프로세스의 화학적 특성에 대한 실시간 데이터를 제공하며, 원하는 야금 구조가 매번 달성되도록 도와줍니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 균일 한 샘플에서 완전히 반복 가능한 에치를 제공하기 위해 자동화 될 수 있습니다. AMAT DxZ Reactor는 단일 또는 다중 계층 스택, 천공 된 구조, 마이크로 기능 등 다양한 재료를 에칭하여 복잡한 패턴 및 구조를 생산할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 에칭 작업 외에도 수동화 작업, 박막 증착 및 패턴 전송을 수행 할 수 있습니다. 이러한 기능으로 인해 DxZ Reactor는 야금 연구 및 야금 미세 구조 생산을위한 귀중한 도구가되었습니다. SEM 이미징 및 EDX 분광법과 같은 요소별 교육에 적합한 분석 도구 (Analytical Tools) 를 사용하여 X-Y 에칭 샘플을 분석 할 수도 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 복잡한 야금 구조의 생산을 위해 특별히 설계된 고급 금속 산화물 에칭 도구입니다. AMAT DxZ Reactor는 HF 및 LF 파의 조합을 사용하여 균일성이 개선 된 효율적인 에치 속도를 달성합니다. 원자로 (reactor) 는 고급 공정 제어 시스템에 의해 제어되며 반복 가능한 샘플에 대해 자동화 될 수도 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS DxZ Reactor는 수동화 작업, 박막 증착 및 패턴 전송을 수행 할 수 있습니다. 이러한 특징은 DxZ Reactor를 야금 연구 및 복잡한 구조물의 생산을위한 귀중한 도구로 만듭니다.