판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN #148641

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN은 집적 회로 (IC) 제작에 사용되는 도구입니다. 실리콘 웨이퍼에 유전체를 형성하는 데 사용되는 플라즈마 원자로의 한 유형입니다. AMAT DPN은 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 진공 챔버, 무선 주파수 (RF) 플라즈마 발전기, 전극 및 레시피 컨트롤러. 진공실은 내부 직경이 일반적으로 0.35 ~ 2.13 미터 인 원통형 용기입니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 일반적으로 오일 확산 펌프로 밀봉된 진공입니다. 증착 과정에서 기질 (일반적으로 실리콘 웨이퍼) 을 보유합니다. RF 플라즈마 생성기 (RF plasma generator) 는 증착 과정에 필요한 양전하 이온 및 전자를 생성하는 데 사용된다. 이 RF 생성기는 진공 챔버에 삽입되는 안테나에 공급되는 HFRF (High Frequency) 파형을 생성합니다. 이 파형은 원하는 물질을 웨이퍼 (wafer) 에 배치하는 데 사용되는 이온화 된 입자의 흐름을 지시하기 위해 변조된다. 발전기는 고전압 전원 공급 장치, 파형 발전기, 파형 모니터 (waveform monitor) 등 여러 가지 부품으로 구동됩니다. 전극은 진공실 안에 장착되며 알루미늄, 텅스텐 또는 구리로 만들어집니다. 전극 의 모양 과 크기 는, 발생 하는 증착 의 종류 에 따라 다르다. 예를 들어, 평면 전극은 일반적으로 확산 응용에 사용되고, 환형 전극은 화학 증발 (CVD) 응용에 사용된다. 레시피 컨트롤러는 증착 과정에서 사용되는 매개변수를 제어하는 컴퓨터 시스템입니다. 여기에는 HFRF 파형의 타이밍 및 강도, 전극 전력 수준 및 온도, 진공 챔버 내 온도 및 압력, 증착의 펄스 주파수 (pulse frequency) 가 포함됩니다. 예금 (deposition) 절차는 고객의 요구 사항에 따라 정확하게 수행되도록 합니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS DPN은 집적 회로의 제작에 사용되는 도구입니다. 4 가지 구성 요소로 구성되어 있습니다. 진공실, RF 플라즈마 발전기, 전극 및 레시피 컨트롤러. DPN 은 양전하를 띤 "이온 '과 전자 를 생성 하는데, 이 전자 는 기질 에 유전체 막 을 증착 시키는 데 사용 되는데, 그것 은 일반적 으로" 실리콘 웨이퍼' 이다. 레시피 컨트롤러 (Recipe Controller) 의 도움을 받아 증착 프로세스를 정확하게 제어하여 고객의 요구 사항에 따라 웨이퍼 (Wafer) 에 재료 레이어를 생성합니다.