판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CVD Producer #9013333
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판매
ID: 9013333
APPLIED MATERIALS CVD Producer Split tool with (2) twin BPSG chambers, 8"
Wafer size & type : 200mm, jmf ( no smif interface )
Chamber position : ch#a & ch#b
Manometer : 20/1000torr
Rps : mks
Electrical information : 208v, 240a, 60hz
Monitor : stand alone & through the wall
Mainframe information:
Mainframe type : shrinkage
Robot : vhp dual robot
Loadlock cassette : manual 2 cassette
Ozone generator : ax8403
Loadlock pump : ipx100
Gas delivery:
Mfc : unit 8161
Valve : fujikin 5 ra max
Filter : millipore
Transducer : mks w/o display
Regulator : veriflo
Single line drop : yes
Gas line feed : bottom feed
System cabinet exhaust : bottom
Gas pallet ( ch#a & ch#b ):
O2 20slm ufc8161
Nf3 3 slm ufc8161
Ar 5 slm ufc8161
He 20slm ufc8161
N2 20slm ufc8161
Teos 4000 lf-410a-evd
Teb 500 lf-310a-evd
Tepo 250 lf-310a-evd
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CVD Producer는 다양한 기질에서 박막 증착에 사용되는 일종의 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 높은 처리량 증착 장비로서 AMAT CVD 생산자 (AMAT CVD Producer) 는 탁월한 균일성, 고속 증착 및 정확한 레시피 제어를 제공하며 낮은 소유 비용을 제공합니다. APPLIED MATERIALS CVD Producer는 진공 챔버, 가스 전달 장치 및 난방 소스로 구성된 멀티 챔버 시스템입니다. "진공실 '은 오염 을 방해 하거나 도입 하지 않고 얇은" 필름' 을 증착 할 수 있도록 밀봉 된 환경 으로 설계 되었다. 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 에는 대량 흐름 컨트롤러와 밸브가 포함되어 있어 공정 가스 조성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 가열원 은 고압 전극 과 흑연 "서셉터 '(" 서셉터') 로 구성 되어 있는데, 이것 은 기판 에 균일 한 온도 를 만드는 데 사용 된다. 증착 과정은 원자로 챔버를 대피함으로써 시작됩니다. 일단 압력 이 원하는 수준 에 이르면, 공정 "가스 '가 도입 되어 가열 된다. 이것은 반응이 일어나서, 기질에 증착을 초래한다. 공정의 흐름을 조절함으로써 반응의 균일성 (uniformity) 과 속도 (speed) 를 조절 할 수 있다. 가스와 서셉터의 움직임. 또한 CVD Producer는 프로세스 최적화를 위해 정확한 레시피 제어를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CVD Producer는 학술 연구, 생명 공학, 반도체 및 태양 광 제작 및 디스플레이 생산을 포함한 다양한 산업에 사용됩니다. 고급 포장 공정의 수동층에 사용되는 실리콘 옥시 니트 라이드 (silicon oxynitride) 와 실리콘 질화물 (silicon nitride) 을 포함한 많은 재료와 소비자 전자 기기에 종종 사용되는 "블랙 다이아몬드 (black diamond)" 니트로 기반 반사 코팅에 적합합니다. 또한, 다른 응용 분야에는 이산화규소, 질화규소, 금속, 예를 들어 구리 및 텅스텐과 같은 유전체의 증착이 포함됩니다. AMAT CVD Producer는 빠른 증착률, 정확한 제어, 높은 처리량 등으로 인해 기존 시스템에 비해 비용 효율적인 대안입니다. 또한 모듈식 (Modular) 설계를 통해 간편한 설치/운영이 가능해지고, 낮은 TCO (총소유비용) 를 통해 예산이 까다로운 사람들에게 매력적인 선택이 가능합니다. 마지막으로, 다양한 재료와의 호환성을 통해 고품질 박막 레이어 (Thin Film Layer) 를 생산할 수 있습니다.
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