판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215

AMAT Centura eMax는 웨이퍼 처리를위한 챔버입니다. 안정적이고 견고한 장비로, 광범위한 프로세스 기능과 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 이 챔버의 기본 압력은 1.0 x 10-6 토르 (Torr) 이며 직경이 최대 8 인치인 다양한 웨이퍼를 쉽게 수용 할 수 있습니다. eMax 챔버는 통합 웨이퍼 히터, 상단 플레이트, 탈출 포트 및 정전기 척이있는 알루미늄 베이스 플레이트로 구성됩니다. 전원 공급 장치, 온도 컨트롤러, 웨이퍼 로더 및 언로더는 모두 통합 시스템의 일부입니다. 웨이퍼 히터 (wafer heater) 는 웨이퍼에 최대 250 ° C의 안정적인 온도를 제공하여 광범위한 이국적인 프로세스를 허용합니다. eMax 챔버는 독특한 정전기 척 장치 (electrostatic chuck unit) 를 사용하여 웨이퍼 표면에 균등하고 균일 한 정전기력 적용을 제공합니다. 이렇게 하면, "웨이퍼 '가 공정 중 에 안전 하게 보관 되도록 하기 때문 에, 예외적 인 수준 의 균일성 과 반복성 이 있게 된다. 또한, 이 기계에는 자동 가스 전달 도구 (automated gas delivery tool) 가 포함되어 있어 현장 프로세스 환경을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 로 말미암아 약실 은 필요 한 온도 와 압력 을 유지 하게 되며, 그 과정 에 적합 한 "가스 '혼합물 을 사용 할 수 있게 된다. 2 차원 웨이퍼 중심 자산은 처리 중에 웨이퍼가 항상 중심이 되도록 보장하며, 웨이퍼 안정성과 최대 균일성을 보장합니다. 통합 용량 컨트롤러는 빠르고 정확한 용량 측정 및 제어를 제공합니다. 마지막으로, 챔버는 사용자 친화적이며 쉽게 유지 할 수 있습니다. 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 모델과 사용자 인터페이스를 통해 필요에 따라 실시간 데이터를 간편하게 보고 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 인터페이스는 사용자 정의 (customizizing) 되어 사용자의 개별 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura eMax 챔버는 웨이퍼 처리를 위해 안정적이고 강력한 장비입니다. 광범위한 기능, 반복 가능성, 사용 편이성 등으로 말미암아 모든 애플리케이션에 이상적인 시스템 (System) 이 되었습니다.