판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura DPS II #293664214

AMAT Centura DPS II는 사용자에게 높은 처리량과 최대 가동 시간을 제공하는 고급 고성능 단일 웨이퍼 원자로입니다. 전자산업에 사용하기 위한 고품질 실리콘 웨이퍼를 생산하는 데 이상적입니다. 이 기계는 특허를받은 DPS (Dual Process, Single-Wafer Equipment) 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 하나의 원자로 챔버에서 다양한 프로세스 기능을 수행 할 수 있습니다. 2 개의 원통형 챔버 세트가 장착되어 있으며, 각 챔버는 최대 24 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 챔버에는 강력한 프리 플로팅 (free-floating), 더블 밀봉 디자인이 있으며 오염과 높은 길 잃은 자기장을 방지합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS II는 4 개의 개별 챔버, 즉 Load Lock, Process, Purge 및 Exit 챔버로 구성됩니다. 로드 잠금 챔버 (Load Lock chamber) 는 실리콘 웨이퍼가 처음으로 로드되는 챔버입니다. 이 방에는 항균 오염 방지 (Antimicrobial contamination protection) 기술이 장착되어 있어 오염물이 시스템에 들어가는 것을 방지합니다. 프로세스 챔버 (Process chamber) 에는 조정 가능한 전력 수준의 정확하게 제어 된 RF 가열 장치가 있으며 챔버 전체에 균일 한 기판 온도를 가진 최대 수율로 설계되었습니다. 이 챔버에는 프로세스 매개변수를 구성하고 제어하는 데 사용할 수 있는 온보드 프로세스 컨트롤러 (on-board process controller) 도 장착되어 있습니다. 퍼지 챔버 (Purge chamber) 는 나머지 반응 가스와 입자를 안전하게 제거하여 깨끗한 프로세스 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 엑시버 (Exit chamber) 는 기계에서 웨이퍼를 안전하게 제거하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II는 고급 진단 및 모니터링 기능으로 설계되었습니다. 이 원자로에는 작업을 관리하는 주 제어 컴퓨터 인 PCC (Process Control Computer) 가 장착되어 있습니다. PCC 는 또한 원격 모니터링 (remote monitoring) 기능을 제공하며, 이를 통해 사용자는 세계 어디에서나 원자로 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 자산의 성능을 최적화하는 상세한 진단 (diagnostics) 및 경보 기능도 제공합니다. 결국, AMAT Centura DPS II는 전자 산업을위한 고품질 실리콘 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 단일 웨이퍼 원자로입니다. 4 개의 개별 챔버가 장착되어 있으며, 각각 특정 용도로 설계되었으며, 고급 진단/모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 최신 공정 제어 기술 (process control technology) 로 설계되었으며, 하나의 원자로 챔버에서 다양한 공정 기능을 수행 할 수 있습니다.