판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634885

AMAT (APPLIED MATERIALS) P5000 Chamber는 다양한 온도에서 증착액을 정확하게 제어하도록 설계된 단일 웨이퍼, 배치 원자로입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 원자로 내에서 매우 낮은 균일성 온도 프로파일을 유지함으로써 입자 오염을 줄이고 불균일성을 피하는 최첨단 디자인 (state-of-the-art design) 을 특징으로합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber에는 정확한 온도 제어를 위한 고성능 고온 난방 장비가 포함되어 있습니다. 이 가열 시스템은 균일 한 박막 세라믹 가열 요소, 고밀도 세라믹 절연층, 원하는 온도 프로파일을 전달하기위한 증발 가스 장치 (evaporative gas unit) 로 구성됩니다. 약실 온도 "프로파일 '의 균일성 은 난방 원소 의 온도 와 공정" 가스' 의 양 을 정확 하게 제어 하는 직류 (DC) 전원 공급 장치 로 유지 된다. AMAT P5000 Chamber에는 프로세스 모니터링, 제어 및 데이터 로깅을 정확하게 수행할 수 있는 자동 기능이 포함되어 있습니다. 챔버에는 로봇로드 및 언로드 로봇, RF 로드 잠금 머신, 자동 밸브 도구, 처리 매개변수의 정확한 제어 및 균일성을 보장하는 자동 챔버 압력 컨트롤러 (Automated Chamber Pressure Controller) 가 포함됩니다. 템플릿 기반 컴퓨터 제어 (computer control) 자산을 통해 운영자는 프로세스 조건을 빠르고 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 약실의 비활성 백금 챔버 (inert platinum chamber) 는 가공 중 오염 위험을 최소화하는 공기가 단단한 밀봉이있는 견고한 챔버 도어를 갖추고 있습니다. "스테인레스 '강 내부 벽 과 바닥 은 열전달 이 뛰어나며" 가스' 나 증착 유체 와의 화학 반응 에 저항 한다. 챔버 (chamber) 는 공정 환경을 정확하게 제어하기 위해 증착 액체 (deposition fluid) 와 배기 가스 (exhaust gas) 용 포트 2 개로 설계되었습니다. 약실의 환경 모니터링 모델 (Environmental monitoring model) 은 가스 농도 또는 압력의 변화가 빠르고 정확하게 모니터링되도록 보장합니다. 이 장비에는 여러 개의 센서와 모니터가 포함되어 있어 프로세스 환경을 정확하게 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Chamber에는 프로세스 환경을 원치 않는 오염으로부터 보호하기 위해 고효율 공기 여과 시스템도 포함되어 있습니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber는 다양한 응용 프로그램에서 정확한 증착을 위해 설계된 고성능 단일 웨이퍼 배치 원자로입니다. 최첨단 설계는 정확한 온도 조절, 자동화된 프로세스 모니터링 및 제어, 오염이 없는 프로세스를 보장하는 환경 모니터링 장치 (Environmental Monitoring Unit) 를 제공합니다. 이 챔버는 고정밀 증착을 달성하기위한 훌륭한 선택입니다.