판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+ #9236897

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+
ID: 9236897
웨이퍼 크기: 8"
Rapid Thermal Processor (RTP), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE + Reactor는 고성능 및 고급 장치 프로세스의 사용자 정의를 위해 설계된 고급 반도체 제작 시스템입니다. 멀티 플랫폼 프로세스 요구를 충족할 수 있는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 향상된 프로세스와 다용도 및 비용 효율적인 플랫폼을 결합합니다. XE + 의 견고한 설계는 시스템 성능을 향상시키고 안정적인 프로세스 결과를 보장합니다. AMAT Centura XE + 는 트랜지스터 및 상호 연결과 같은 마이크로 전자 장치를 구성 할 수 있습니다. XE + 원자로는 단일 터보 펌프 금속 소스 스택과 2 개의 독특한 중간 터보 펌프를 사용하여 최신 AMAT Centura 디자인을 기반으로합니다. 금속 소스 스택에는 고급 듀얼 노즐 PVD (dual-nozzle PVD) 어셈블리가 장착되어 있어 웨이퍼 표면에 뛰어난 금속 균일성을 제공합니다. PVD 어셈블리는 최적화된 필름 형상을 사용하여 피쳐 크기와 피치 제어를 개선합니다. 중터보 펌프 (medium-turbo pump) 를 사용하면 반도체 기능을 더 소형화하여 장치 기술의 확장성을 극대화할 수 있습니다. XE + 원자로는 또한 고급 웨이퍼 스케일 프로세스 제어 및 뛰어난 프로세스 견고성을 위해 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 은 공구 성능과 수율을 극대화하는 한편, 제품 유형에 따라 여러 가지 레시피에 대해 공구 설정을 조정하는 유연성을 제공합니다. 이 플랫폼은 다양한 크기와 아키텍처의 신속한 디바이스 제작을 지원합니다. XE + 는 (는) 비용 절감을 극대화하고 최고의 품질을 제공하는 장치를 신속하게 생산할 수 있습니다. XE + 원자로는 오늘날의 고급 반도체 제조에 필수적인 도구입니다. 뛰어난 유연성과 사용자 정의 기능, 탁월한 wafer-scale 프로세스 제어 기능, 탁월한 프로세스 견고성, 탁월한 기능 크기, 피치 제어 기능을 제공합니다. MEMS, IC, 논리 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. XE + 는 고급 반도체 장치 제조에 귀중한 도구입니다.
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