판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE #9236826

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE는 반도체 및 기타 산업에 다양한 기능과 이점을 제공하는 다목적 고급 에치 (etch) 원자로입니다. AMAT Centura XE는 다양한 에치 (etch) 프로세스를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 고급 드라이브 기술을 통해 프로세스와 레시피 유연성을 제공합니다. 고속 200kHz 대역폭은 빠른 에치 레이트와 에치 프로세스의 정확한 제어를 가능하게 합니다. 이 기능은 고급 고밀도 플라즈마 소스 (plasma source) 에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 웨이퍼 전체에서 반복 가능한 에치 레이트를 유지하면서 플라즈마 균일성을 단단히 제어 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura XE의 고급 온도 및 압력 제어 기능은 광범위한 종점 측정을 가능하게합니다. 또한 Centura XE는 운영 향상과 안전 향상을 위한 다양한 기능을 제공합니다. 폐회로 유체 관리 (closed-circuit fluid management) 장비는 유해 가스 또는 화학 물질의 방출을 방지함으로써 운영자의 안전을 유지하는 데 도움이됩니다. 고급 안전 연동 시스템은 위험 조건에 노출 될 위험을 최소화합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE의 정확한 온도, 압력 및 롤-투-롤 정렬은 반복 가능한 결과를 보장하고 장치 장애 가능성을 제거하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 고급 AMAT Centura XE의 레시피 에디터 (recipe editor) 를 사용하면 처리 절차를 사용자 정의하여 고유한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 연산자가 주어진 에치 (etch) 프로세스의 매개변수를 정확하게 제어하도록 지원합니다. 여기에는 에치 깊이 프로파일 (etch depth profile) 의 원하는 균일성 설정과 웨이퍼를 가로지르는 에치 속도 (etch rate) 가 포함됩니다. 편리한 Touch-Board (Touch-Board) 장치는 레시피에 대한 빠른 액세스를 제공하여 빠른 작업 환경에서 기존 레시피를 손쉽게 변경하거나 구체화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura XE는 다양한 응용 분야에 이상적인 에치 원자로입니다. 이 첨단 기술은 프로세스 제어 (Process Control) 및 안전 (Safety) 기능을 강화하는 동시에, 특정한 요구에 맞게 처리 절차를 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 레시피 편집기 (Recipe Editor) 는 에칭 매개변수와 터치 보드 (Touch-Board) 머신을 정확하게 제어하여 레시피에 대한 액세스를 단순화하므로 에치 프로세스를 빠르고 안전하게 최적화하고 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.