판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9273065

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ는 전원/논리/SRAM 내장 메모리 장치 제조를 위해 설계된 고급 산화물 원자로 시스템입니다. 이 원자로는 초기 웨이퍼 청소, 필름 증착 (예: SiO2) 및 이식으로부터 단면 웨이퍼 공정을 제공하는 데 사용됩니다. 통합 운송 시스템을 사용하여 AMAT Centura WxZ는 단일 챔버에서 여러 프로세스를 수행하거나, 다중 챔버 통합을 위해 챔버 간 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이 효율적인 시스템은 엄청나게 낮은 강착 온도에서 매우 얇은 산화물 층을 생성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura WxZ의 패러데이 마그네트론 스퍼터 (Faraday Magnetron Sputter) 는 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 프로세스를 제공하여 놀라운 정밀도로 30nm 너비의 구조를 만들 수 있습니다. 센츄라 WxZ (Centura WxZ) 의 모듈식 설계를 통해 일관성 있는 프로세스를 유지하면서 원자로를 개별 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 모듈식 부품을 활용하면 금속 증착 (metal deposition) 및 원자층 증착 (atomic layer deposition) 과 같은 추가 프로세스 단계와 유연하게 통합됩니다. 다른 고유 기능으로는 높은 처리량, 낮은 온도 처리, 빠른 프로세스 시간, 고급 제어 및 데이터 수집 시스템 등이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ를 사용하면 특정 애플리케이션에 따라 다양한 프로세스 옵션을 사용할 수 있습니다. 여기에는 청소, 열 산화, 산화 및 질화 anneals, 빠른 열 anneal 시스템, 임플란트 후 anneals 및 사후 청소 프로세스가 포함됩니다. AMAT Centura WxZ 는 또한 사용이 간편한 사용자 인터페이스와 실시간 프로그래밍 가능한 데이터에 대한 액세스를 제공하는 고급 제어 패키지 (advanced control package) 를 제공합니다. 이 데이터는 프로세스 조건을 최적화하고 프로세스 일관성을 유지하는 데 사용될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura WxZ는 공간 절약형 환경에서 탁월한 성능을 제공하는 다용도, 업계 최고의 원자로입니다. 높은 생산성, 정확한 온도 조절, 뛰어난 신뢰성을 결합하여 높은 수율을 보장하고 TCO (소유 비용) 를 절감합니다. 센츄라 WxZ (Centura WxZ) 의 효율성과 유연성이 향상됨에 따라, 장치 제조업체는 이제 가장 높은 수율로 집적 회로를 생산할 수 있습니다.