판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9251453

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ
ID: 9251453
웨이퍼 크기: 8"
CVD System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ는 박막 증착을위한 화학 증기 증착 원자로입니다. AMAT 센츄라 WxZ (AMAT Centura WxZ) 는 박막 성장을 통제하는 매개변수에 대한 높은 수준의 제어를 제공하기 때문에 다양한 기판에서 박막 증착 (Thin film) 을 수행 할 수 있습니다. 여러 개의 메가 (Mega) 클러스터 소스를 특징으로하며, 개별 재료의 기화를 가능하게하여 기판의 재료가 공동 증착됩니다. 온도 영역은 섭씨 50도에서 1000도 사이이며 단색 장치 (monochromator) 는 표면 코팅에 대한 향상된 스펙트럼 제어를 제공합니다. 이 시스템은 또한 고류 가스 처리 시스템을 갖추고 있으며, 염소, 왁스, 질소와 같은 다양한 고압 처리 가스를 제공 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura WxZ는 매우 다재다능한 박막 증착 도구로, 금속 및 유기 박막, 고-k 유전체 및 고급 필름 스택에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 공구 컴포넌트에는 상단 및 하단 전극, 중앙 RF 소스, 상단 및 하단 방향 키트, 상단 및 하단 챔버, 지원 스탠드가 포함됩니다. 챔버 (chamber) 는 퇴적 과정 또는 기판 챔버를 검사하기 위해 폐쇄 가능한 오프닝 및 여러 쿼츠 뷰 포트를 제공합니다. 여러 네트워크 컴퓨터와 자동 시스템 (Automated System) 을 장착하여 사용자가 기판 위치, 챔버 온도, 비활성 대기 등을 제어 할 수 있습니다. 또한 Centura WxZ 에는 적절한 기판 위치, 균일 한 프로세스, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 보장하기 위해 열 모니터링을 사용하는 고급 프로세스 제어 시스템이 포함되어 있습니다. photolithography, ion milling and etching, thermal drying 등을 포함한 다양한 후처리 옵션을 제공합니다. 또한, 이 도구는 R&D 용도 및 프로덕션 프로세스의 확장 용도로 사용될 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ는 연구 개발, 웨이퍼 및 기판 박막 증착, 기타 고급 후처리 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고 다용도 박막 증착 도구입니다. 또한 고급 기능과 매개변수 제어 (parameter control) 기능을 갖춘 사용자 친화적인 환경을 제공하여, 연구원들이 높은 품질과 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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