판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9198276

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ
ID: 9198276
웨이퍼 크기: 6"
WCVD system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor는 재료 연구자와 inovator가 고급 코팅과 초단면 박막을 생산할 수 있도록 설계된 고성능 증착 시스템입니다. AMAT Centura WxZ 원자로는 독점적 인 PECVD (Plasma-Enhanced chemical vapor deposition) 공정을 통해 단일 실행에서 여러 층의 증착을 허용합니다. 이 과정 에서는 반응성 이 있는 "가스 '," 플라즈마' 및 열 의 혼합물 을 사용 하여 여러 금속 의 박막, 절연 물질, 기질 의 화합물 을 증착 시킨다. 이 과정 은 또한, 기본 기판 을 손상 시키지 않고, 기존 재료 에 재질 을 배치 하는 데 사용 될 수 있다. 원자로에는 박막의 정확한 위치와 증착이 가능한 고해상도 (high-resolution deposition) 매핑 시스템이 장착되어 있다. 매핑 시스템 (mapping system) 은 증착 과정을 단순화하고 전체 기판에서 가장 높은 수준의 균일성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Centura WxZ 원자로는 Si, Ge 및 III-V 화합물 반도체를 포함한 다양한 기질에서 epitaxial 필름 및 superlattices의 성장에 최적화되었습니다. 또한 영화 두께, 구성 및 형태의 뛰어난 균일성을 제공합니다. 또한, 필름 두께의 균일성은 다중 계층, 이종 구조 및 나노 구조의 증착에 적합하다. 원자로에는 박막 두께 특성, 표면 지형 특성, 스펙트럼 타원법 및 투과 전자 현미경을 포함한 고해상도 도량형 시스템이 장착되어 있습니다. 도량형 시스템은 성장 최적화 및 프로세스 제어를 위해 필름 특성 (film properties) 에 대한 자세한 정보를 제공합니다. Centura WxZ Reactor는 또한 자동 카세트로드 시스템, 자동 유체 시스템, 현장 청소 시스템, 열 제어 시스템 등 다양한 보조 장비를 제공합니다. 이 보조 장비는 효율적인 작동 및 최적화된 웨이퍼 처리를 허용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor는 안정적이고 사용하기 쉽고, 연구원과 혁신가는 증착률이 높고 균일성이 뛰어난 원하는 박막을 빠르게 얻을 수 있습니다. 원자로 는 최신 "테크놀로지 '를 활용 함 으로써, 뛰어난 특성 과 효율성 을 지닌 탁월 한" 필름' 을 제공 한다.
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