판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxP는 고급 IC 구성 시장에 대용량 공정 솔루션을 제공하기 위해 설계된 단일 웨이퍼 생산 원자로입니다. WxP 원자로는 Barrel-only, Wet only 또는 Flexible의 세 가지 구성으로 제공됩니다. 각 구성은 고급 반도체 생산 프로세스의 요구를 충족할 수 있는 고성능, 고도로 구성 가능한 플랫폼입니다. 원자로는 CMP, ASAT, 간격 충전, 전기 화학 증착, 에치, PVD 증착 등을 포함한 유연한 기술을 제공하기 위해 제작되었습니다. 운영 중 프로세스 상태를 모니터링, 예측, 최적화할 수 있는 고급 PVM (Process Variation Management) 모듈을 제공합니다. 프로세스 엔지니어는 원자로 인터페이스 (reactor interface) 의 사용자 정의 가능한 설계를 통해 프로세스를 최적화하기 위해 매개변수를 빠르게 조정하고 실험할 수 있습니다. WxP 원자로에는 LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 시스템이 장착되어 있어 폴리 실리콘, 실리콘 옥시 니트 라이드 및 저압 유전체의 고품질 증착이 가능합니다. 또한 Tungsten 증착뿐만 아니라 재배포 및 뒷면 충전 응용 분야에 사용되는 ECD (electrrochemical deposition) 시스템을 보유하고 있습니다. WxP 원자로는 고급 로봇 공학 및 사이징 시스템을 갖추고 있어 정확한 배치 및 정확한 벌크 재료 처리를 보장합니다. 또한, 원자로는 공기 잠금 장치, 압력 방지 시트, 과압 경보 (over-pressure alarm) 와 같은 여러 안전 기능으로 구축되어 운영 중 최적의 안전을 보장합니다. WxP 원자로는 다중 프로세스 기능을 통해 높은 생산성을 제공하지만, 정확성과 성능을 보장합니다. 고급 모션 및 웨이퍼 처리 기술로 제작되어 웨이퍼 (Wafer) 및 다이 레벨 (Die-Level) 정렬이 모두 가능합니다. 또한 성능 측정 (Performance Measuration) 및 검사 (Inspection) 툴과 통합되어 결함을 감지하고 프로세스 성능에 대한 피드백을 제공합니다. 전반적으로, AMAT Centura WxP는 반도체 생산에서 고품질 결과와 처리량 향상을 제공하도록 설계된 고급 원자로입니다. 설계와 커스터마이징이 가능한 이 모듈을 통해 엔지니어들은 원자로 설정을 다른 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 고급 안전 (Advanced Safety) 기능은 안전한 작업 환경을 보장합니다.