판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima+ #9230338

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima + 는 박막 증착에 사용되는 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 장비는 고급 이중 주파수 Novellus Generation4 플라즈마 소스를 사용하여 증착 온도를 정확하게 제어하여 균일 한 층을 0.3um 두께로 퇴적시킵니다. 원자로는 또한 유전체 반도체 및 전도성 금속을 가공하여 저k 유전체 상호 연결 또는 금속 접촉 장벽을 생성 할 수있다. AMAT Centura Ultima + 는 75MHz 및 13.56MHz RF 소스에 전원을 공급하기 위해 독점적 인 이중 구역 유도 코일 디자인을 통합했습니다. 이렇게 하면 레이어 균일성 (unifority) 과 처리량 (throughput) 이 향상되어 더 높은 수율과 더 나은 수율 제어가 가능합니다. 멀티 로브 자기 동력 RF 코일 (multi-lobed magnetic powered RF coil) 은 더 큰 온도 및 층 균일성을 위해 챔버 전체에서 플라즈마를 우수한 복제하여 기판으로 물질을 더 잘 옮길 수 있습니다. 이 시스템은 소유의 Novellus Scrub 및 Drytube 기술을 사용하여 고품질의 불량 박막 증착을 보장합니다. 스크럽 (scrub) 공정은 여러 저압 질소 튜브의 계단식 배열을 사용하여 다음 공정 단계 전에 기판 표면에서 모든 플라즈마 부산물 및 오염 물질을 제거합니다. 건조 튜브 (drytube) 기술을 통해 공정 가스 및 기질 온도가 일관되게 유지되므로 고품질 증착이 보장됩니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima + 는 또한 통합 엔드 스테이션 모듈을 통해 레시피 쓰기, 프로그래밍 가능한 도량형, 조정 가능한 사용자 인터페이스 옵션을 제공하여 프로세스 최적화를 극대화합니다. 그것의 고급 재료 처리 장치 (advanced material handling unit) 는 기판이 중단 없이 원자로 챔버 내에서 지속적으로 움직이고 회전하여 높은 처리량 생산을 가능하게한다. 센츄라 울티마 + (Centura Ultima +) 원자로에는 첨단 증착 기술 외에도 고해상도 이미징 머신이 포함되어 있어 공정의 정확하고 이해하기 쉬운 실시간 이미지가 제공됩니다. 이 툴은 또한 프로세스 최적화 (process optimization) 를 지원하여 프로세스 성능을 직접 모니터링하고 파악할 수 있는 강력한 툴을 제공합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima + plasma enhanced chemical vapor deposition reactor는 다양한 장치 응용 프로그램을위한 고품질, 균일 한 박막 레이어 생산을위한 고급 기술을 제공합니다. 통합 사용자 인터페이스, 이미징 (imaging), 도량형 (metrology) 기능이 결합된 고급 증착 및 재료 처리 기술은 고품질 박막 계층의 처리량을 생산하는 데 이상적인 자산입니다.