판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9190695

ID: 9190695
웨이퍼 크기: 12"
System, 12".
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima는 민감한 기판에 대한 에칭, 증착 및 임플란테이션과 같은 복잡한 프로세스를 수행하도록 설계된 최첨단 에치 원자로입니다. 여러 엔클로저에 의해 보호되므로 안전성과 청결성이 뛰어납니다. 최신 버전의 AMAT 센츄라 울티마 (Centura Ultima) 는 200mm 및 300mm 웨이퍼 크기를 모두 처리하도록 설계되었으며, 이를 통해 고객들은 해당 프로세스에 맞는 맞춤형 솔루션을 선택할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 단단계에 비해 더 일정한 압력과 청결을 유지하는 독특한 2 단계 진공 시스템을 특징으로합니다. 이것은 원자로 (microelectronics) 및 MEMS 생산에 필요한 것과 같은 중요한 프로세스에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima 는 다양한 크기와 구성으로 제공되므로 다양한 프로세스에 적합합니다. 여러 가스 인젝터 및 난방 구역은 프로세스 환경을 정확하게 제어합니다. 원자로는 또한 공정을 실시간으로 정확하게 모니터링하는 데 도움이되는 고순도 도량형 챔버 (high-purity metrology chamber) 를 제공합니다. 또한, 공정 챔버 (process chamber) 의 온도와 압력은 최적의 결과를 제공하기 위해 정확하게 조정 될 수 있습니다. 성능 측면에서 센츄라 울티마 (Centura Ultima) 는 가스의 흐름과 플라즈마 균일성을 정확하게 제어합니다. 이는 에치 로딩 (etch loading) 을 크게 줄입니다. 즉, 고객은 훨씬 낮은 프로세스 조건을 사용하고 여전히 높은 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 원자로 균일성 (Reactor uniformity) 은 또한 공정이 기질의 전체 영역에 균질하도록 향상된다. APPLIED MATERIALS/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima는 시장에서 가장 발전된 원자로 중 하나입니다. 고객은 고급 2 단계 진공 시스템, 정확한 온도 및 압력 제어, 일관된 플라즈마 균일성의 혜택을 누릴 수 있습니다. 고객은 2 개의 Wafer 크기 중 하나를 선택하여 특정 프로세스에 맞는 솔루션을 만들 수도 있습니다. 이러한 모든 기능은 AMAT Centura Ultima를 민감한 마이크로 전자 및 MEMS 생산에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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