판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9157680

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ID: 9157680
HDP CVD System (3) HDP CVD Chambers Ultima+ ENI Generators NOVA50A GHW50A.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima는 금속 및 유전체의 증착을 위해 설계된 완전한 기능의 CVD (multi-chamber chemical vapor deposition) 원자로입니다. 알루미늄, 실리콘, 티타늄, 텅스텐, 구리 등 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 장비에는 자동 압력 제어 시스템 (Pressure Control System), 고급 모니터링 장치 (Monitoring Unit) 및 사용이 간편한 직관적인 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. Ultima에는 또한 특허를받은 VCIM (초정밀 전압 제어 임피던스 일치) 머신이 포함되어 있어 최적화 및 반복 가능한 증착 프로세스를 보장합니다. 원자로의 멀티 챔버 설계 (multi-chamber design) 및 모듈 플랫폼 (modular platform) 은 동일하지 않은 유연성을 제공하여 사용자가 특정 응용 프로그램의 표면 친수성, 접착 및 장벽 특성을 조정하기 위해 각 챔버에 다른 프로세스 및 매개변수를 적용 할 수 있습니다. 통합 온도 컨트롤러 (Integrated Temperature Controller) 와 여러 가스 흐름 소스를 통해 사용자는 증착율, 열 분배 및 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 Ultima는 낮은 전기 접촉 저항, 향상된 입자 여과 및 최첨단 안전 기능을 제공합니다. 울티마 (Ultima) 는 균일 한 열 전달과 최소화 된 열 구배를 보장하기 위해 맞춤형 난방 요소를 갖추고 있습니다. 열 요소는 또한 온도 범위 (최대 950례의 온도 범위) 를 개선하여 사용자가 증착 과정을 통해 유연성을 높일 수 있습니다. 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 자동 압력 제어 (Automated Pressure Control) 기능을 통해 사용자는 일관된 매개변수와 재현 가능한 결과를 보장할 수 있습니다. 울티마 (Ultima) 는 특허를 받은 VCIM 덕분에 소음을 최소화하는 데 큰 이점이 있습니다. 이 툴은 또한 유지 보수 (maintenance) 를 줄여 보다 안전하고 안정적인 증착 환경을 구축하는 데 도움이 됩니다. 또한 Ultima는 자동화된 카세트-카세트 동작 (cassette-to-cassette motion) 과 공구가 필요없는 액세스 도어로 웨이퍼 로딩 및 언로드를 단순화합니다. 이렇게 하면 챔버 로드 (chamber loading) 와 언로드 (unloading) 간의 빠르고 간편한 전환을 보장하며, 시간을 절약하고 오류를 줄입니다. 또한, 공압 적으로 작동 된 격리 밸브 (isolation valve) 는 원자로의 사용되지 않은 부분을 분리하고, 챔버 적재 및 하역을 더욱 능률화 할 수있다. 전반적으로 AMAT Centura Ultima는 알루미늄, 실리콘, 티타늄, 텅스텐 및 구리와 같은 재료에 이상적인 증착 자산입니다. 고급 모니터링 모델, 자동 압력 제어 (Automated Pressure Control), 직관적인 사용자 인터페이스, 특허를 획득한 VCIM 장비 등의 기능을 통해 향상된 증착 프로세스와 장비 신뢰성을 누릴 수 있습니다. 울티마 (Ultima) 는 또한 최대 950ß C 의 향상된 열 범위, 낮은 전기 접촉 저항과 더불어 향상된 입자 여과, 안전한 로드 및 언로드를 제공하여 사용자 유연성 및 보호 능력을 극대화합니다.
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