판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima는 제조 프로세스를 간소화하는 고급 플라즈마 에치/클린 챔버 장비입니다. 이 시스템은 다른 구성 요소 중에서 높은 진공 챔버, RF (Radio Frequency) 생성기 및 플라즈마 소스로 구성됩니다. Plasma Source는 상단 챔버에 장착 된 Balor Torch입니다. Balor/Balor Ultra 이중 엔드, 이중 환형 링 디자인으로 구성되어 있으며 노즐 냉각을위한 최대 16 개의 화학 전달 포트가 있습니다. 챔버에는 발로 토치 (Balor Torch) 의 작동을 지시하는 플라즈마 어셈블리가 있으며, 플라즈마 생성 변압기 및 수소-아르곤 화학 전달 장치를 포함합니다. RF 생성기는 플라즈마 소스를 활성화 할 수있는 에너지를 제공합니다. RF 전원 공급 장치는 다양한 구성이 될 수 있으며, 챔버에는 혈장 압력을 줄이고, RF 전력 활용도를 높이고, 에치 균일성을 향상시키는 sextupole 자기장 생성기가 있습니다. 챔버에는 균일 한 에치 패턴 (etch pattern) 을 보장하기 위해 광범위한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 내부를 깨끗하고 오염 물질이 없도록, 배기 팬 및 필터 머신 (filter machine) 은 고속 청소 공기를 순환시키고 잔류 및 생성 된 입자를 제거합니다. AMAT Centura Ultima에는 MRP II Gas Technology Tool이 장착되어 있으며, 챔버 내부의 가스 흐름을 전달하고 제어하기 위해 최대 5 개의 가스 라인이 있습니다. 이 기능을 사용하면 여러 기판에서 보다 일관된 etch 속도를 얻을 수 있습니다. 또한 챔버에는 옵션 헬륨 (He) 백사이드 냉각 패키지가 있으며, 이는 유전체 초크 손상 및 후속 오버 에칭 (over-etching) 을 방지하기 위해 온도 제어를 용이하게합니다. 프론트 로딩 (front loading) 로봇은 챔버 (chamber) 를 통해 기판을 전송하는 쉽고 안전한 방법을 제공하며, 챔버 (chamber) 는 유지 보수 및 교체 목적으로 모든 구성 요소에 쉽게 액세스 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 방은 견고한 캐비닛으로 둘러싸여 있으며, 견고한 생산 환경을 견디고 인력 안전 (Safety of People) 을 보장하기 위해 강력하게 건설되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima는 매우 유능한 에치/클린 도구입니다. 매우 균일 한 에치 프로파일 (etch profile) 과 재현 가능한 결과를 제공 할 수있는 신뢰할 수 있고 다양한 자산입니다. 고도의 정밀도 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 을 실현할 수 있는 효율적인 가스 전달 모델과 고성능 RF 생성기를 갖춘 반면, 고급 구성요소와 맞춤형 설계를 통해 특정 요구 사항과 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다.