판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9078243

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Reactor는 반도체 처리에 사용되는 최첨단 증착 장비입니다. 이 장비를 사용하면 유전체, 금속, 유기물 등 다양한 박막 재료를 처리 할 수 있습니다. 원자로는 최대 1400 ° C의 온도, 최대 2 바의 압력, 최대 5000 sccm의 반응성 가스를 포함한 광범위한 공정 조건을 제공 할 수 있습니다. 원자로에는 고류 가스 분사 시스템, 다중화 가스 센서 장치 및 폐쇄 루프 플라즈마 전원 제어 장치 (closed-loop plasma power control machine) 가 장착되어 있습니다. AMAT Centura Ultima Reactor에는 다양한 기판 크기를 지원하는 중앙 가열 서셉터 (susceptor) 가있는 도가니 형 챔버가 있습니다. 가열 된 서셉터 (susceptor) 는 처리 중 균일성을 유지하여 넓은 웨이퍼 영역에서 박막 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. 빠른 웨이퍼 수송 도구를 갖춘 Cruiser-Lift Process Loader는 빠른 처리 시간을 위해 기판과 카세트-카세트-핸딩을 빠르고 쉽게 적재할 수 있습니다. 또한, 울티마 리액터 (Ultima Reactor) 는 웨이퍼의 로드 및 언로드 및 박막 형성을위한 인케이스를위한 로봇 암으로 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Reactor는 10nm에서 1um, 2nm에서 200nm 두께의 유전체 범위의 레이어 두께를 처리 할 수있는 매우 다재다능합니다. 원자로는 Al, Al2O3 및 TiN을 포함한 다양한 재료와도 호환됩니다. 이 장비에는 자산 제어 기능이 내장되어 있으며, 프로세스 매개 변수가 최적화되어 있어 프로세스 개발 및 반복 기능이 간단합니다. 울티마 리액터 (Ultima Reactor) 에는 프로세스 단계와 결과에 대한 완벽한 자동 실시간 모니터링 기능을 제공하는 고해상도 비디오 프로세스 모니터가 장착되어 있습니다. 또한 Ultima Reactor에는 자동 종료, 자동 가스 차단 시스템, 원격 차단 안전 (remote shut-off safety) 등의 내장 안전 기능이 장착되어 있습니다. 울티마 리액터 (Ultima Reactor) 는 안정적인 작동과 고품질 결과를 보장하기 위해 손쉬운 유지 관리 및 운영, 모듈식 (modular) 설계, 유지 관리 및 기타 표준 프로세스를 위한 구성요소를 손쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 울티마 리액터 (Ultima Reactor) 에는 사용자 정의 매개변수를 최적화하기 위해 설계된 고급 운영 소프트웨어가 함께 제공됩니다. Centura Ultima Reactor는 사용자에게 고성능 프로세스 결과와 높은 수율을 제공합니다. 고품질 필름을 생산해 다양한 반도체 (반도체) 용도로 쉽게 만들 수 있는 빠른 사이클링, 매우 정확하고, 안정적이며, 안전한 원자로다.