판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9401460

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X
ID: 9401460
빈티지: 2005
CVD System 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X는 반도체 및 기타 첨단 공정에 사용되는 광학 순수 실리콘 재료를 생산하도록 설계된 차세대 원자로입니다. 원자로는 첨단 기술, 최적화 된 재료, 검증된 전문가 엔지니어링 (Expert Engineering) 의 조합을 통해 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로에는 광학 등급 실리콘 필름을 최적으로 배치하기 위해 맞춤형 고급 플라즈마 기반 처리 기능이 장착되어 있습니다. 이 프로세스는 완전히 자동화되어 매우 균일하고 평면 (planar) 표면을 생성하여 만들어진 필름의 후속 후처리를 크게 단순화합니다. 원자로는 또한 다양한 재료에 대한 레시피가있는 유연한 작업 흐름을 가지고 있으며, 빠른 프로토 타입 (prototyping) 과 최대 50 개의 동시 필름 증착 응용 프로그램 (simultaneous film deposition application) 을 가능하게합니다. 울티마 X (Ultima X) 원자로는 열 관리의 최신 혁신을 통해 균일 한 온도와 예금 필름의 균일 한 열 팽창을 보장 할 수 있습니다. 이는 뛰어난 결정성을 보장하며 내부 스트레스 (internal stress), 크래킹 (cracking) 과 같은 문제를 피하여 빠른 처리 및 고품질 필름을 허용합니다. 원자로는 또한 최소 작동 드리프트를위한 이중 열 (double column for minimal operational drift) 및 정확하고 재현 가능한 레시피가 가능한 최첨단 마찰력 제어 메커니즘 (state-of-the-art friction-force control mechanism) 과 같은 고급 기계 구성 요소로부터 혜택을 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 반도체 산업의 응용 및 고성능 마이크로 프로세서의 관련 제작을 위해 특별히 설계되었습니다. 따라서, 오염 또는 프로세스 중단의 위험을 최소화하면서 효율적인 재료 교환을 가능하게하는 새로운 에어 록 (airlock) 시스템이 특징입니다. 또 원자로에는 산업용 안전시스템 (Safety System) 이 제공돼 안전하고 정확한 처리 환경이 조성된다. 마지막으로 AMAT 센츄라 울티마 X (Centura Ultima X) 는 동급 최고의 레시피의 광범위한 라이브러리와 증착 공정의 실시간 튜닝 및 조정을 가능하게 하는 조정 가능한 프로세스 제어 엔진으로 지원됩니다. 이 원자로 는 창조 된 "필름 '과 완성 된 제품 의 최상 의 질 을 보장 하는 데 도움 이 됨 으로써, 반도체 산업 에서 가장 까다로운 제조 공정 을 위한 완전 한 선택 이다. 그렇다.
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