판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 공정 및 반도체 산업의 다른 고급 화학 공정을위한 전문 도구입니다. AMAT Centura Ultima X는 고급 소프트웨어 알고리즘으로 구동되는 Pro-Liner ™ 기술과 같은 독점적 인 기능을 통해 반복 가능하고 균일 한 증착을 지원합니다. 최대 증착 효율은 Pro-Liner (tm) 기능을 통해 이루어지며, 이는 챔버 전체에서 정확한 궤적 및 균일 한 압력 프로파일을 보장합니다. 울티마 X (Ultima X) 는 또한 공정 소스와 챔버 사이에 독특하게 설계된 하위 대기 압력 차이를 사용하여 공정 효율성과 균일성을 증가시킵니다. 직관적인 7 인치 전면 디스플레이 (front display) 및 그래픽 사용자 인터페이스는 프로세스 매개변수 및 챔버 압력을 실시간으로 피드백하는 반면, 멀티태스킹 기능을 통해 여러 프로세스를 동시에 실행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima X는 4 개의 독립적 인 열 구역을 제공하여 챔버 컨디셔닝, 컴포넌트/도구 검증, 화학 증폭기 및 다중 처리를 수행 할 수 있습니다. 네 개 의 "존 '의 열 범위 는 모두 정상 보다 넓기 때문 에, 다양 한 온도 를 가진" 웨이퍼' 를 처리 하고 화학 물질 을 처리 할 때 보다 정확성 과 반복성 이 높다. Ultima X에는 정확한 온도 조절 장비가 장착되어 있으며, 0.5 ° C 범위 내에서 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 매우 정확한 흐름 제어를 제공하여 공정 화학 물질의 정확한 용량을 보장합니다. Centura Ultima X는 공정 챔버 직경 64.5 인치, 공정 챔버 깊이 23.3 인치, 최대 공정 온도 800 ° C 및 최대 공정 압력 10 Torr과 같은 뛰어난 사양을 제공합니다. 전원 시스템은 2 개의 6kW 자석으로 구성되어 있으며, 이를 통해 공정 챔버의 빠른 가열 및 냉각이 가능합니다. 또한, 원자로는 최대 가스 유량 12000 리터/분, 최대 BTU/hr 2.475를 제공합니다. 울티마 X (Ultima X) 는 최대 안전을 위해 설계되었으며, 프로세스 조건을 모니터링하고 챔버에서 잔류 과정/화학을 자동으로 제거하는 클린 챔버 사이클 모드 (clean chamber cycle mode) 와 압력, 온도 및 가스 흐름을 모니터링하는 경보 장치 (alarm unit) 를 갖추고 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 다양한 내장 안전 기능뿐만 아니라, 유해 프로세스 과정에서 사용자가 챔버에 들어가는 것을 방지하는 자동 연동 장치 (Interlock Machine) 가 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X는 CVD 및 기타 고급 화학 공정에 적합하며 뛰어난 공정 효율성, 반복 가능성 및 균일성을 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 사용자 친화적이며, 고급 기능은 최대한의 안전성과 정확성을 제공합니다. 효율적인 열 범위와 정확한 흐름/온도 조절을 통해 AMAT Centura Ultima X는 뛰어난 프로세스 결과를 제공할 수 있습니다.