판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #100131

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ID: 100131
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
CVD HDP system, 8" (3) Ultima X HDP chambers 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X는 고급 반도체 응용 프로그램 별 증착 도구입니다. 이 멀티 레인, 차세대 원자로는 고급 기술 노드 및 크리티컬 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 증착 장비는 고급, 고정밀 필름 품질을 제공하여 프로세스의 정확한 제어 및 반복 성을 제공합니다. AMAT Centura Ultima X는 다중 챔버 설계를 제공하며, 각 챔버는 독립적으로 구성 가능한 프로세스 제어를 갖추고 있습니다. 사용자가 적절한 배치 프로세스 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이 시스템에는 고속, 멀티 존 (multi-zone) RF 전원 발전기가 장착되어 있어 전례없는 유연성을 제공하며 필름 왜곡이 줄어 듭니다. Ultima X는 빠른 열 처리 (thermal process) 및 연간 처리 (anneal process) 를 포함하여 광범위한 열 처리 기능을 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 가장 복잡한 필름에도 최상의 필름 성능을 얻기 위해 고급 모션 컨트롤 (Suite of Motion Control) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 이 장착되어 있습니다. 여기에는 기계의 성능 매개 변수에 대한 포괄적 모니터링이 포함됩니다. 온도 및 압력, 광범위한 공정 가스. 울티마 X (Ultima X) 는 가스 센서, 질량 흐름 컨트롤러, 열전대 (thermocouple) 와 같은 다양한 센서와 모니터 간의 공동 접근 방식을 활용하여 증착 공정의 최고 수준의 제어 및 품질을 보장합니다. Ultima X에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 가 포함되어 있어 배치 프로세스와 매개변수를 정확하게 제어하고 모니터링 및 경보 관리 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어는 운영 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 반복 가능한 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 이 소프트웨어에는 포괄적인 통계 프로세스 제어 도구 (statistical process control tools) 가 추가로 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 증착 과정 (deposition process) 동안 조건이 어떻게 변하는지 그래픽으로 볼 수 있으며, 필름 및 장치 성능을 최적화하기 위해 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 툴은 저가형, 고품질 필름, 구성 요소, 최고 수준의 제어, 예측 가능성, 반복 기능을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS (APPLIED MATERIALS) 센츄라 엑스 (Centura Ultima X) 는 자원 및 기술의 궁극적 조합을 통해 고급 효율성과 정밀한 프로세스 제어를 보장합니다. 울티마 X (Ultima X) 는 증착 프로세스가 항상 효율성과 품질에 최적화되도록 하는 효과적인 도구입니다.
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