판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9159573

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus
ID: 9159573
웨이퍼 크기: 8”
HDP Chamber, 8” Generator rack Gas panel for 1 chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 우수한 공정 성능과 정밀도를 달성하도록 설계된 고급 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. AMAT 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 는 광범위한 구성 가능한 챔버 구성 요소 및 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 포함한 추가 프로세스 도구를 제공하여 최신 생산 요구를 충족합니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 대형 챔버 볼륨으로 최대 300mm (12 인치) 의 여러 웨이퍼 크기를 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한, 혁신적인 온도 조절 장비는 전체 챔버에서 ± 1.0 ° C 내에서 매우 균일 한 온도 결과를 제공합니다. 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 는 반응성 가스로 챔버 전체의 균일성, 균일성 및 균일 한 필름 성장을 최적화하는 플라즈마 소스 구성을 갖추고 있습니다. 이 제품은 독점적 인 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 기술과 함께 우수한 플라즈마 제어 및 최적화 된 입자 생성을 위해 업계 최고의 변조 제어와 함께 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus (AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus) 의 전력 변조 기능으로 인해 다양한 프로세스 조건과 어플리케이션에서 더 뛰어난 튜닝성과 프로세스 제어가 가능합니다. AMAT 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 는 플라즈마 소스 구성 및 변조 제어 외에도 매우 낮은 오염 표면 처리를 활용할 수 있습니다. 독점적 인 고밀도 플라즈마 소스가 시스템에 통합되어 뛰어난 표면 처리 및 에칭 (etching) 을 가능하게합니다. 이 기능은 기판의 오염 수준이 매우 낮아 프로세스 품질 (Process Quality) 과 장기 제품 신뢰성 (Long-term Product Relibility) 을 향상시킵니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus의 다른 기능에는 감소 된 챔버 작동 온도 (최대 40 ° C) 와 결합 된 고급 냉각 장치 및 온도 관리가 포함됩니다. 또한 Centura Ultima Plus에는 수동 로딩 시간을 최소화하기 위해 구성 가능한 웨이퍼 처리 머신과 통합 로봇 로더 시스템이 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus의 강력하고 구성 가능한 자동화 기능으로 배치 및 대용량 생산이 가능합니다. 결론적으로 AMAT Centura Ultima Plus는 고급 전자 부품 생산을위한 고급 PECVD 원자로입니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 직관적인 소프트웨어 인터페이스와 가장 정확하고 도전적인 프로세스를 위한 혁신적인 구성 가능한 챔버 (configurable) 구성 요소를 갖추고 있습니다. 강력한 프로세스 제어 솔루션, 낮은 오염 수준, 그리고 대용량 챔버 볼륨의 결합으로 인해 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 는 다양한 생산 요구에 이상적인 선택이 됩니다.
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