판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9158337
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판매
ID: 9158337
웨이퍼 크기: 8”
HDP Chamber, 8”
Includes:
Chamber interface parts
Gas pallet
QTY DESCRIPTION P/N
Upper chamber LID:
(1) RPS AX7670-02,06,16,19
(1) RPS Mount kit
(1) AL Gas line 0050-62134
(1) SiH4 Gas line 0050-46867
(1) Top heater 0035-00123
(1) Ceramic dome
(1) ALN Plate modification
(1) Balanced side match modification
(1) DTCU Modification
(1) Cap bank assy 0010-06403
(1) PLC Kit
(1) Ultima plus cover 0010-19262
(1) Top baffle 0200-01009
(0) Nozzles
(1) Top clean feed through 0040-86016
(1) Hinge assy
Lower chamber body:
(1) T/V Body 0020-18273
(1) Turbo throttle valve
(1) Turbo throttle Driver 0010-01369,19238
(1) Rough throttle valve 0010-09035
(1) Turbo isolation valve 3870-00117
(1) Fore line and gas line
(1) Bias match
(1) Ceramic collar 0200-18109
(1) Ceramic cover 0200-18081
(1) Cathode assy
(1) Cathode misc
(1) ESC Refurbish
(1) NC Gate valve 3870-00037
(2) RF Coaxial cable 0190-18062
(1) Ebara 1600 Turbo pump / Controller ET1600
(1) 1000 Torr manometer 1350-01131
(1) 50T Interlock switch 1270-01814 (E48W-H38)
(1) Chamber XDCR press .10-100TORR Ass'y 1320-01284 (CV7627A-05)
(1) Frorline XDCR press 10TORR Ass'y 1350-01285
(2) Gas spring 3780-02273
(1) Seal assy 3700-02320
(1) Throttle valve teflon ring 0200-18268
(1) Dual he manifold (4 Valve) 0050-40927
(1) DUAL IHC ASS'Y
(1) ORING
(1) Forline isolation valve 3870-02890 (KAV-150-P-10)
Main frame:
(1) Chamber pneumatic assy 0010-17301
(1) Chamber tray bd 0100-18062 or 18064/65
(1) Chamber tray kit 0242-01931
(1) AC Box kit 0242-70228
Generator:
(1) ENI Generator rack
(1) Seriplex bd 0190-35765/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-18043
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
Gas panel:
(1) Gas panel
(1) Gas panel refurbish
(1) Seriplex bd 0190-35653/0190-35762/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-35124
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
MISC:
(1) Clean, fitting, clamp
(1) Chamber frame
(1) MISC (GFCI, cable, accessory).
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 고급 반도체 장치의 제조에 사용하도록 설계된 최첨단 에치 및 증착 원자로입니다. 이 자동 장비는 이전 모델보다 뛰어난 성능, 향상된 처리량, 뛰어난 균일성을 제공합니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 5E-7 torr의베이스 압력으로 작동 할 수 있도록 매우 진공 타이트하게 설계되었으며, 1E-8 torr만큼 낮은 압력에 도달 할 수 있습니다. AMAT Centura Ultima Plus는 또한 최대 900 ° C의 광범위한 온도 설정을 제공하며 수소, 염소, 질소, 산소 및 아르곤을 포함한 다양한 에치 및 증착 가스와 호환됩니다. 이 원자로의 자동 웨이퍼 처리 시스템 (automated wafer handling system) 은 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 전송합니다. 단일 웨이퍼 (single-wafer) 및 배치 처리 (batch processing) 기능을 통해 연산자가 여러 에칭 프로세스를 순차적으로 설정할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 스캔 기능을 통해 각 웨이퍼를 개별적으로 고해상도 제어 및 처리할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 또한 유지 보수가 필요하지 않은 안정적인 작동을 제공하는 영구적으로 설치된 드라이 진공 펌핑 장치를 제공합니다. 기본 진공 펌프는 초고속 펌프 다운 (pump-down) 시간을 허용하여 기존 에치 및 증착 프로세스보다 최대 90% 빠른 처리 시간을 제공합니다. 이 원자로는 또한 정확성, 안전성, 작동 용이성을 촉진하기 위해 설계된 다양한 추가 기능을 제공합니다. 여기에는 액체 소스 재순환 및 측정 기계, 통합 필터 및 밸브 장치, PLC (programmable logic controller) 및 데이터 획득 도구 (data-acquisition tool) 가 포함되어 있어 모든 원자로 매개변수를 모니터링하고 데이터를 실시간으로 처리할 수 있습니다. 전반적으로, Centura Ultima Plus는 탁월한 프로세스 제어 및 반복 가능한 처리량을 제공하는 매우 효율적이고 자동화된 에치 (etch) 및 증착 원자로입니다. 이 장치는 안전성과 비용을 염두에 두고 설계되었으며, 고급 반도체 제작 (FMA) 프로세스를 지원하는 데 필요한 강력한 기능을 제공합니다.
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