판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9070889
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판매
ID: 9070889
웨이퍼 크기: 8"
HDP Chamber, 8"
DCVD Centura 1.x
Currently still attached to tool
RF Generator racks are still connected to tool and chambers
SMC heat exchanger is disconnected but still in facility area
Includes:
Gas pallet
Gas lines
Chamber interconnects
Chamber umbilicals and HX
ETO rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 반도체 제조 공정에 사용되는 혁신적인 고급 증착 도구입니다. 이 도구는 효율과 성능을 최적화하기 위해 설계되었으며, 원자 (atomic) 수준에서 다양한 장치와 구조를 만들 수 있습니다. AMAT 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 는 최종 제품의 뛰어난 스텝 커버리지, 제품 신뢰성 및 신뢰성을 달성하면서 필름 증착의 탁월한 균일성을 제공하는 듀얼 빔 소스를 갖추고 있습니다. 또한 이 도구는 PPPC (PureFilm Process Control) 장비, 매우 정밀한 증착 제어 기술을 사용하여 뛰어난 AMAT 균일성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 독특한 멀티 스테이지 이산 증착 시스템 인 고급 RockCliff ™ 플랫폼으로 구동됩니다. 이 도구는 여러 자동 단계를 활용하여 넓은 지역에 균일하고 정확한 필름을 생성합니다. 이러한 자동화 단계에는 각 스텝 포인트 (step point) 에서 대상 종의 특정 동시 재순환이 포함되며, 이는 균일 한 플럭스와 균일 한 필름 커버리지를 보장합니다. Centura Ultima Plus에는 증착 프로세스의 여러 단계를 관리하는 PCS (Process Control Unit) 도 있습니다. PCS 는 프로세스 변수와 매개 변수를 지속적으로 모니터링하여 최적의 프로세스 실행을 보장합니다. 이 기계는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 완벽하게 조정하고 제어하여 특정 배치 (deposition) 프로세스에 대한 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus에는 최대 1000 ° C의 온도를 제공하는 나노 가열 소스가 장착되어 있습니다. 이 고온은 최적의 단계 범위와 균일성을 얻기 위해 필요합니다. 또한 AMAT 센츄라 울티마 플러스 (Centura Ultima Plus) 에는 균일 한 커버리지와 신뢰할 수있는 필름을 보장하기 위해 공구 내에서 웨이퍼의 움직임을 정확하게 제어하기 위해 고정밀 로봇 암이 장착되어 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 까다로운 증착 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 듀얼 빔 소스 (Dual-Beam Source) 및 고정밀 로봇 암 (Robotic Arm) 제어는 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하며 높은 처리량을 제공합니다. 이 도구는 고급 반도체 제작 프로세스에 적합한 솔루션으로, 고품질의 필름 (film) 과 우수한 스텝 커버리지를 생산할 수 있습니다.
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