판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9065273

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ID: 9065273
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Etcher, 8" (3) Chambers Flat type Door interlock sensor Dome heater cooling type: yes Ceramic ESC: WTM Top mount remote plasma: Yes Local match box: Yes Heat exchanger: SMC Dual IHC Control: Yes Centura1 Ph 2 Wide L/L Wafer map sensor Wafer sliding sensor Cool chamber slot: 8-slot HP Extend robot: One arm Cabinet exhaust: Top Single line drop: Yes Gas line feed: Top Monitor, third: Station SMC Chiller Leybold Mac 2000 TMP Alcatel ATH2300 ENI generator 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 최적의 온도, 압력 및 가스 균일성을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 최첨단 CVD 원자로는 다양한 증착 공정에서 고정밀 성능을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Centura Ultima Plus 원자로에는 고급 열 제어 장비가 있으며, 최적의 반응성 균일성 및 프로세스 제어를 위해 2 개의 독립적 인 온도 영역이 있습니다. 원자로는 다수의 균일 한 직접 열 공정을 사용하여 안정적이고 최고의 정확도를 보장합니다. 또한, 공정 챔버 (process chamber) 는 양쪽에서 가열되어 가열 및 냉각 속도를 가속화하여 증착 환경의 균일성을 보장합니다. 원자로는 또한 고급 정전기 충전 시스템 (advanced electrostatic charging system) 을 사용하는데, 이는 증착 공정에서 비롯된 입자의 속도와 양을 제어하는 데 사용될 수도 있습니다. 이 프로세스는 효율적인 클러스터 도구 설계와 결합하여 효율성을 극대화하는 고품질 (High-Quality) 증착을 가능하게 합니다. 또한, APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus 원자로에는 다양한 가스와 반응물에 대한 정확한 온도 조절을 제공하기 위해 이중 센서, 온도 조절 장치가 장착되어 있습니다. 기계는 전체 기판에 걸쳐 매우 정확하고 반복 가능한 온도 프로파일을 제공하도록 설계되어 증착 공정의 균일성 (uniformity) 과 정확성 (accuracity) 을 보장합니다. Centura Ultima Plus는 또한 다중 영역 가스 제어 (multiple-zone gas control) 를 제공하여 정확한 가스 흐름을 제어하여 증착 과정을 최적화합니다. 이 설계 기능은 반응물이 권장 반응물 순도 (recommendant reactant purity) 를 유지하여 안정적이고 효율적인 증착 과정을 보장합니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus는 최대 2000cc의 프로세스 챔버 크기를 특징으로하며, 최대 효율성과 최적의 볼륨을 위해 설계되었습니다. 석영 원자로 튜브 (quartz reactor tube) 와 스테인레스 스틸 (stainless) 공정 챔버 벽은 내구성이 있도록 설계되어 프로세스 중 최대 온도 조절 및 최적 필름 품질을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 AMAT Centura Ultima Plus는 다양한 증착 프로세스에 대해 효율적이고 신뢰할 수있는 원자로가되었습니다.
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