판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9206450

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 차세대 고밀도 플라즈마 (HDP) 원자로입니다. 원자로는 오염 위험과 낮은 소유 비용 (TCO) 으로 고품질 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 혁신적인 디자인, 첨단 기술, 고정밀도를 결합하여 동급 최고의 플라즈마 성능을 제공합니다. Centura Ultima의 HDP 플랫폼은 다양한 챔버 구성 및 프로세스 기술을 사용합니다. 여기에는 반응성 이온 에치 (RIE), 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 고밀도 플라즈마 (HDP) 프로세스가 포함됩니다. HDP 프로세스는 2 개의 독립적 인 에너지원을 사용하며, 그 중 하나는 10,000 ~ 이상의 온도를 달성 할 수있는 고밀도 플라즈마 소스입니다. 다른 소스는 애싱 (ashing) 과 플라즈마 클리닝 (plasma cleaning) 과 같은 다양한 대기 프로세스에 사용되는 다목적 전원입니다. 일관된 도핑 수준을 보장하기 위해 AMAT Centura Ultima HDP는 고급 심도 UV 조명 장비를 사용합니다. 이 deep-UV 시스템은 도핑 레벨의 변형을 줄이고 도핑 프로파일의 재생성을 향상시킵니다. 또한, Ultima HDP 원자로는 최대 7 Torr의 확장 압력 범위에서 작동 할 수 있으며, 이를 통해 산화물 유전체 층을 처리 할 수 있습니다. HDP 원자로는 다양한 현장 모니터링 시스템을 사용하여 매개변수 제어에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이 실시간 제어를 통해 프로세스 매개변수를 신속하게 최적화하여 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 또한 저해안 화학 탐지기를 사용하여 입자 또는 가스 존재를 감지하는 고감도 클린 룸 센서 (clean-room sensor) 를 포함합니다. Ultima HDP 원자로는 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 공정 진공 (process vacuum) 용 고효율 터보 펌프 (turbo pump), 다양한 공정 및 클린 룸 모니터링 시스템 및 강력한 모터 드라이브 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구에는 성능 저하 없이 다양한 온도 범위에서 작동할 수 있는 통합 냉각 (cooling) 및 난방 (heating) 에셋이 장착되어 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP 원자로는 시장에서 모든 HDP 원자로의 성능을 극대화할 수 있는, 고급적이고 비용 효율적인 플라즈마 처리 모델입니다. 오염의 위험과 TCO (총소유비용) 를 최소화하면서 고품질 결과를 낼 수 있다. 또한, 원자로는 효율성을 극대화하고 최첨단 모니터링 시스템과 강력한 모터 드라이브를 장착할 수 있도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 생산능력을 한 단계 끌어올리는 반도체 제작시설에 이상적이다.