판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9183978

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ID: 9183978
빈티지: 2014
CVD system (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP 원자로는 반도체 제조 공정에 고품질 고급 재료를 배치하기 위해 특별히 설계된 업계 최고의 고급 증착 장비입니다. 이 원자로는 정밀도 (precision) 와 성능 (performance) 이 뛰어난 복잡한 재료 스택의 증착을 가능하게 하며, 프로세스 제어를 강화하고, 최첨단 나노 화 (nanosized) 장치를 제조할 수 있습니다. AMAT 센츄라 울티마 HDP (Centura Ultima HDP) 는 광범위한 구성 요소를 갖춘 모듈식 설계로, 최신 생산 요구에 유연하고 확장 가능한 솔루션을 제공합니다. OMCVD (organometallic chemical vapor deposition), LPCVD (low-pressure chemical vapor deposition) 및 PE-CVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 기술을 포함한 다양한 증착 기술이 가능합니다. 사용 가능한 가장 높은 균일성으로 설계된 APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP는 죽은 반점이나 그림자 없이 최적의 레이어 증착을 만들 수 있습니다. 증착 성능을 보장하기 위해 시스템에는 다중 변증 석영 챔버, 조절 가능한 웨이퍼 홀더, 대용량 터보 펌프, 가스 배달 장치 (gas delivery unit) 가 장착되어 있습니다. 자동 압력 및 가스 흐름 제어 기계는 정밀한 재료 제어, 반복 가능한 공정 결과, 뛰어난 정확도를 가능하게합니다. 센츄라 울티마 (Centura Ultima) HDP는 혁신적인 온도 조절 도구를 사용하여 웨이퍼의 온도를 정확하게 모니터링하고 조정하여 온도 균일성, 정확하고 재현 가능한 결과, 시간 절약, 프로세스 수익률 향상 등의 효과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP는 또한 다른 많은 증착 시스템보다 빠른 주기 (cycle) 와 함께 빠른 증가율을 제공할 수 있으며, 높은 처리량을 제공합니다. 이를 통해 장치 생산 감소, 정밀 레이어 증가 및 재료 손실 감소가 가능합니다. 고급 프로세스 제어 옵션으로는 웨이퍼 처킹 (Wafer Chucking), 베이스 플레이트 온도 및 바이어스 모니터링, 멀티플렉싱 (Multiplexing) 등이 있습니다. AMAT CENTURA ULTIMA + HDP (AMAT CENTURA ULTIMA + HDP) 는 기술력을 서브미크론 및 나노미터 수준으로 확장하는 데 적합하므로 다양한 고급 소재 및 어플리케이션에 적합합니다. 고급형 반도체 제조공정을 위한 이상적인 솔루션으로 "고품질의 제품 (product) '을 최고의 효율로 생산하는 데 도움이 된다.
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