판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9166056

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP 원자로는 프로세스 응용 프로그램을 에칭하는 데 사용되는 고급 플라즈마 에치 원자로입니다. 이 고밀도 플라즈마 (HDP) 원자로는 향상된 에치 선택성, 프로세스 균일성 및 생산성으로 인해 고급 프로세스 개발, 생산 및 연구 응용 분야에 이상적인 도구입니다. AMAT Centura Ultima HDP에는 대용량 병렬 플레이트 소스가 장착되어 있으며, 고출력 전자 빔, 고밀도 플라즈마 발전기 및 가스 분포 설계가 특징입니다. 이 강력한 조합은 정확한 에칭에 사용되며, 여러 프로세스 구성을 수용할 수 있습니다. 통합 프로세스 매개변수는 우수한 성능을 보장하도록 엄격하게 검증되었습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA + HDP는 견고하고 정확하며 매우 정확한 에치 프로세스를 제공합니다. 3 차원 구조를 에치할 수있는 능력이 있으며, 정확한 프로세스 결과를 보장하기 위해 높은 수준의 선택성을 제공합니다. 이 에처 (etcher) 에는 조정 가능한 압력과 유량을 갖춘 폐쇄 루프 제어 시스템 (closed-loop control system) 이 있으며 모든 프로세스 설정을 통해 안정적인 일관성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP는 에치율 (etch rate), 균일성 (unifority), 수율 (revield), 처리량 (throughput) 이 향상된 첨단 기술 애플리케이션뿐만 아니라 연구 및 생산 환경의 요구를 모두 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 이 원자로의 챔버는 또한 웨이퍼 수송 및 취급, 빠른 사이로겐 냉각, AMAT의 고급 플라즈마 소스 기술 (plasma source technology) 을 포함하도록 조정 될 수있다. AMAT CENTURA ULTIMA + HDP에는 사용자의 편의를 위한 많은 기능이 있습니다. 유지 보수가 낮은 설계로, 장기간에 걸쳐 예방 유지 보수가 필요하지 않습니다. 이 원자로는 높은 수준의 장비 가동 시간을 달성하며, 사용자가 쉽게 가동할 수 있도록 합니다. 원자로에는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 제공되어 간단하고 직관적인 작동이 가능합니다. 요약하면, CENTURA ULTIMA + HDP 원자로는 고품질 및 안정적인 결과를 낼 수있는 다목적, 고급 에치 원자로입니다. 이 원자로는 리서치 (Research) 와 프로덕션 (Production) 애플리케이션의 요구를 모두 충족하도록 설계되었으며, 폐쇄 루프 제어 시스템 (Closed-Loop Control System) 과 유연한 프로세스 구성으로 모든 애플리케이션에 적합합니다.