판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #9086223

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra 원자로는 플라즈마 처리에 사용되는 고도의 에치 클러스터 도구입니다. 다양한 업종의 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 애플리케이션에 대해 정확하고 일관된 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 연구개발 (R&D) 과 대용량 생산에 이상적이며, 우수한 성능과 낮은 가동 비용을 제공합니다. AMAT Centura Tectra 원자로에는 센츄라 3D (Centura 3D) 에치 및 증착 헤드 (deposition head) 를 포함한 최신 에칭 및 증착 기술을 활용할 수있는 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 헤드는 고온 및 고압 플라즈마 (plasma) 처리를 사용할 수 있도록 특별히 설계되어 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 머리 에는 온도 의 극단 과 높은 압력 을 처리 할 수 있는 견고 한 구조 가 있습니다. 원자로에는 에칭 및 증착 응용 전용 2 개의 메인 펌프가 각각 장착되어 있습니다. 둘 다 고성능 모터에 의해 구동되며, 원활하고 효율적인 작동을 보장합니다. 주요 펌프는 고압 저압 펌프 (low-pressure pump) 와 원자로 내부의 압력을 제어하기위한 진공 펌프 (vacuum pump) 를 포함하여 몇 가지 추가 펌프로 보완됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS 센츄라 텍트라 (Centura Tectra) 원자로에는 에칭 및 증착 프로세스를 쉽게 작동하고 제어 할 수있는 고급 컨트롤러가 있습니다. 이 컨트롤러는 원자로 내 온도, 압력, 유량, 전압, 총 전원 입력 (total power input) 을 수정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 사용자가 에칭 (etching) 및 증착을 수행할 시간 (time frame) 을 조정할 수 있도록 합니다. 센츄라 텍트라 (Centura Tectra) 원자로에는 이온 소스 모듈이 장착되어 있으며, 에칭 및 증착 과정에서 추가 이온을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모듈의 고급 전원 제어 시스템 (Advanced Power Control System) 은 이온이 균일하게 분배되므로 에치 깊이 및 증착 패턴이 균일합니다. 또한 "이온 '소스 모듈 에는 원치 않는" 가스' 나 "이온 '을 걸러내고" 에칭' 과 증착 작업 중 에 오염 을 줄이기 위해 설계 된 여러 가지 "필터 '가 들어 있다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra (AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra) 원자로는 에치 및 증착 프로세스에 대한 고성능 및 뛰어난 제어를 제공 할 수있는 고급 에치 클러스터 도구입니다. 강력한 구조, 강력한 모터, 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 를 갖춘 이 제품은 연구개발 (R&D) 과 대용량 생산에 이상적인 선택입니다.