판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #293675757
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ID: 293675757
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
MCVD System, 8"
Load lock: A, B
HE (Heat Exchanger): Steel head
HP+ Robot
Wide body
SMIF
Chambers:
Chamber A: Ti (Ti-xZ)
Chamber B: TiN (TiN-xZ）
Chamber D: RPC+
Chamber E: 8 Slot cooldown
Chamber F: Orienter
Buff
Gases:
Chamber A: N2, H2, Ar, Cl2, Ar (Cl2 diluted), Ar (bottom purge), Ticl4
Chamber B: N2, NH3, Ar, Cl2, N2 (Cl2 dilution), Ar (bottom purge), Ticl4-L, Ticl4-H
Chamber D: H2, He, Ar, NF3
Dry pumps:
EBARA AA70W Chamber A
KASHIYAMA SD600PV-31 Chamber B
EBARA AA70W Chamber D
EBARA AA40W Buff
EBARA AA40W Load lock
Gas scrubber:
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber A
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber B
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber D
SYSCON Rack
Gen rack
Monitor rack
Chiller
Regulator box
Gas supply unit
HOT N₂ Controller
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra는 다양한 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급적이고 다용도 원자로입니다. 원자로는 박막 증착 (Thin film deposition), 표면 수정을위한 반응물 (reactant for surface modification) 및 기타 첨단 공정 (high-tech process) 과 같은 광범위한 작업에 대한 재료의 증착을 촉진하기 위해 특별히 설계되었습니다. 초고밀도 흑연으로 만들어졌으며, 우수한 열 및 전기 특성을 제공합니다. 원자로는 정확한 온도 및 흐름 제어, 공정 챔버 주변의 가스 순환, 반응물 증착에 대한 높은 진공 압력을 생성 할 수있는 추가 펌핑 시스템 (pumping system) 을 제공하는 진공 열 처리 장비를 갖추고 있습니다. 원자로에는 또한 공정의 온도와 흐름을 조절할 수있는 고급 난방 장치 (advanced heating unit), 냉각기 (cooling machine) 및 제어 도구 (control tool) 가 포함됩니다. 또한, 원자로에는 커패시턴스 타입 매치 (capacitance-type match) 방법을 사용하여 공정 챔버의 액체 레벨을 정확하게 측정하는 특수 레벨 센서가 장착되어 있습니다. 원자로 는 성능 을 향상 시키기 위해 전기 "에너지 '의 근원, 기계 의 지지," 피더', 반응물 배달 자산 의 "액세서리 ', 배기" 모델' 등 여러 가지 "액세서리 '를 제공 한다. AMAT Centura Tectra 원자로에는 폭발 방지 인클로저, 과압 보호 밸브, 경고 시스템 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 고급 제어 장비 (Advanced Control Equipment) 는 극한의 작동 상태에서도 부드럽고 안정적인 작동을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Centura Tectra는 고성능 원자로가 필요한 모든 프로젝트에 효과적인 솔루션입니다. 고급 설계와 기능은 안정적인 작동, 정확한 온도 조절, 향상된 안전/성능 표준을 보장합니다. 센츄라 텍트라 (Centura Tectra) 는 재료의 박막 증착 또는 표면 수정과 관련된 모든 프로세스에 적합한 선택입니다.
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