판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ #9117584

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ는 다양한 고급 성장 프로세스에 유연성과 확장성을 모두 제공하는 멀티 웨이퍼 처리 장비입니다. 화합물 반도체, 광전자 및 광전자 재료의 적용을 위해 설계된 저압, 무선 주파수 스퍼터링 시스템입니다. AMAT Centura Tectra TxZ는 웨이퍼 체인 기능, 작업당 최대 10 웨이퍼, 자동 리소그래피 프로세스, 향상된 재료 구성 제어를 위한 다양한 프로세스 매개 변수를 갖춘 고급 기판 배달을 제공합니다. 프로세스 유연성 및 확장성 향상에 중점을 둔 효율적인 '올인원 (All-in-One)' 기판 공급 장치 및 멀티 웨이퍼 증착 장치입니다. APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ에는 2 개의 웨이퍼 리프트 로봇, 로드 락, 고 진공 격리 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 또한, 최적의 기판 전 처리, 증착률 및 레이어 균일성을 위해 프로세스 가스 및 무선 주파수 전력 수준을 정확하게 교정하는 기능을 제공합니다. wafer-to-wafer 간섭을 없애고, 대규모 wafer 어레이에서도 높은 수준의 프로세스 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 실시간 프로세스 모니터링을 포함한 포괄적인 프로세스 제어 기능으로 지원됩니다. Centura Tectra TxZ는 또한 광범위한 프로세스 데이터를 제공하여 더 큰 분석 연구 및 데이터 분석 기능을 제공합니다. 이 데이터에는 증착율, 증착 두께, 성장률, 온도 구배 등과 같은 세부 정보가 포함됩니다. 고급 히터 툴 (Advanced heater tool) 은 프로세스 최적화를 위해 웨이퍼에서 최대 500 ° C의 온도를 허용하며 생산 시간과 비용을 크게 줄입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ는 또한 미국 FDA가 정한 표준을 포함하여 광범위한 청결 및 안전 요구 사항을 충족합니다. AML (Automated Materials Lift) 은 정확한 웨이퍼 투 웨이퍼 턴어라운드를 제공하는 반면, 웨이퍼 체인 (Wafer Chaining) 자산은 웨이퍼 포지셔닝 및 처리량을 최적화하여 효율성을 극대화합니다. AMAT Centura Tectra TxZ는 반도체 및 광전자 산업의 요구를 충족시키기 위해 Shallow Trench Isolation (STI), 저온 산화물 (LTO), T- 구조, 무선 주파수 (RF) 및 기타 고급 프로세스를 보완하도록 설계되었습니다.