판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura TAO #9230336

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura TAO (Thermal Atomic Layer Oxygen) 원자로는 고급 재료 산업을위한 고성능 저비용 증착 기술을 제공하도록 설계된 반 대기 공정 도구입니다. AMAT 센츄라 TAO 원자로 (AMAT Centura TAO reactor) 는 증착 과정에 대해 높은 수준의 제어를 달성하여 증착 매개변수의 정확한 반복 가능성을 가능하게한다. 이것은 반도체, 나노 스케일 재료 및 광전자 응용 분야에 중점을 둔 산업에 이상적입니다. 원자로의 디자인은 프로세스 균일성과 반복성을 향상시키는 열 처리 (thermal processing) 를 기반으로합니다. 공정 수준에서, 원자로는 용광로 (furnace) 처럼 작용하여, 액체 상 증착 과정이 필요하지 않고 분자 수준에서 증착이 발생할 수있다. 원자로 설계의 유연성은 산화 (oxidation), 확산 (diffusion), 유전층 (dielectric layer) 과 같은 다양한 공정 옵션을 가능하게한다. APPLIED MATERIALS Centura TAO의 반응 챔버는 온도 조절 및 압력 제어 인 분리 된 진공 환경에 있습니다. 이렇게 하면 출력 품질과 처리량이 일관되고 반복 가능해집니다. 원자로는 2 단계 공정을 사용하여 화학 증기 증착 (CVD) 과 원자층 증착 (ALD) 을 결합합니다. 첫 단계 에서, 전구체 분자 들 이 진공 상태 에서 방출 되어, 증착 될 물질 에 얇은 "필름 '을 형성 한다. 두 번째 단계에서, 기질은 산소 함유 플라즈마에 노출되어, 필름을 추가로 수정시킨다. 이 2 단계 프로세스를 통해 배치된 레이어의 특성을 사용자 정의하고 미세 조정할 수 있습니다. Centura TAO 원자로는 또한 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하며, 최소한의 폐기물을 생산하는 것으로 유명합니다. 최대한의 효율로 최고 수준의 증착을 달성할 수 있으며, 모든 유형의 고급 재료 (advanced materials) 어플리케이션에 적합합니다. 원자로의 온도 및 압력 제어 (pressure control) 를 통해 퇴적된 층의 미세 구조를 정확하게 제어 할 수 있으며, 이를 통해 고객은 제품을 뛰어난 세부 수준으로 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura TAO는 신뢰할 수 있고, 고성능, 반 대기 공정 도구로, 고급 재료 응용 프로그램의 증착 매개변수를 정확하게 재현 할 수 있습니다. 2 단계 프로세스와 정확한 온도 및 압력 제어는 사용자에게 최고 품질 (Quality) 및 최고 효율성을 제공합니다. 이러한 모든 기능과 장점으로, AMAT Centura TAO는 업계의 모든 사람에게 꼭 필요한 도구입니다.