판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317
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ID: 9252317
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Etcher, 8"
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Cassette interface:
(2) Narrow body load locks
Fast wafer mapping
Main tool:
Wafer handling robot
Signal lamp tower
Buffer lid open / Close assembly (Manual)
Wafer on blade sensor
Optical endpoint system
Chambers:
Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide
Ch-E: Blank
Ch-F: Orienter
Chamber configuration:
EBARA 305W Turbo controller
EBARA ET300WS Turbo pump
Chamber: P/N 0010-39736 REV A
Electrostatic chuck
HERF Match
Slit liner door
Autobias
Chamber liner
Cathode
Gas box / Gas pallet:
Standard gas panel interface
MFCs: AERA FC-D980C
CO 300 SCCM
C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C)
N2 20 SCCM
O2 100 SCCM
CF4 100 SCCM
CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A)
ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS)
Gas connection
User interfaces:
Front side monitor and light pen base
System side monitor and light pen base
System controller:
Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D)
Chillers included:
B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel
ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel
Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-E는 탁월한 온도 및 프로세스 제어와 정교한 설계를 결합하여 효율성과 안정성을 극대화하는 반응 장비입니다. 이 원자로는 폐쇄 루프 (closed loop) 재순환 시스템을 사용하여 선박 내에서 일관된 온도를 유지하면서 균일하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 히터 장치는 쿼츠 (quartz) 로 만들어졌으며, 이는 다른 재료보다 내구성이 최대 3 배 높고 효율적입니다. 이 쿼츠 히터 머신 (Quartz Heater Machine) 은 전자적으로 조정이 가능하며 다양한 세트 포인트에 대해 정확하고 평평한 온도 제어를 제공합니다. 열 절연 (dense thermal insulation) 과 재순환 열 수송 매체 (recirculated thermal transport medium) 에 의해 열 손실을 줄이기 위해 히터 도구가 더욱 향상됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 정확한 양의 반응물을 처리하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 이 뚜껑은 고순도 석영 (high purity quartz) 으로 만들어졌으며, 공정 가스와 환경 사이의 접촉을 최소화하는 독특한 공정 격리 기능으로 설계되었습니다. 공정 챔버 (process chamber) 에는 공정 챔버에서 부식 성 및 유해 부산물을 제거하는 고효율 가스 스크러버가 포함되어 있습니다. 표준 설치 (Standard Installation) 에는 챔버 내 환경 상태를 모니터링하는 포괄적인 모니터링 및 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 프로세스 화학 물질, 압력, 온도 등의 실시간 모니터링이 포함됩니다. 이 자산에는 또한 운영자에게 잠재적 인 프로세스 문제를 경고하는 특수 경고 모델 (specialized warning model) 이 포함되어 있어 잠재적 인 재앙을 예방할 수 있습니다. AMAT Centura Super-E에는 원활하고 정확한 프로세스 제어가 가능한 자동화된 프로세스 제어 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 프로세스 및 제품 매개변수를 자동으로 조정하여 효율성 및 프로세스 안정성을 높일 수 있습니다 (영문). 다재다능하고 내구성이 뛰어난 이 원자로는 모든 생산 요구사항에 부합하는 다양한 크기와 구성 (configuration) 을 갖추고 있습니다. 이 장비는 가장 짧은 시간에 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 최소한의 유지 보수 (maintenance) 가 필요합니다. 이 우수한 생산 원자로는 복잡하고 까다로운 생산 환경에 이상적입니다.
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