판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SiNgen #293748907

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SiNgen은 AMAT 개발 및 반도체 제작 분야에 사용되는 전문 도구입니다. 얇은 규소 질화물 및 실리콘 함유 화합물을 기질에 침전하도록 설계된 CVD (chemical vapor deposition) 원자로의 한 유형입니다. AMAT 센츄라 시엔 겐 (Centura SiNgen) 은 균일 한 층 두께 분포를 가진 정확하고 신뢰할 수있는 증착 솔루션을 제공하여 에어로졸 (aerosol) 과 실레인 (silane) 과 암모니아 (ammonia) 의 열 분해와 같은 고급 전구체 및 화학의 특징을 이용합니다. APPLIED MATERIALS Centura SiNgen은 4 개의 블록으로 구성됩니다. 첫 번째 블록은 '프로세스 스테이션 (process station)' (전구체 챔버 포함) 과 난방 및 전달 시스템을위한 제어 전자 장치 (control electronics) 입니다. 두 번째 블록은 임피던스 일치 RF 생성기 및 측정 회로를 포함하는 '전극 블록' 입니다. 세 번째 블록은 가스 공급 및 드레인 라인 연결, 로드 락 스테이션 (load lock station) 을 제공하는 '소스 블록' 입니다. 또한 SiNgen 내의 모든 구성 요소는 최적의 성능을 위해 온도가 제어됩니다. 공정 "스테이션 '은 절연실 내 에 있는 난방" 와이어' 와 냉각선 을 통하여 전극 "블록 '에 연결 된다. 이 절연체는 공정 챔버의 빠르고 균일 한 가열 및 냉각을 허용합니다. 소스 블록 (source block) 은 전극 블록에 연결되어 증착 공정에 가스를 공급합니다. 모든 구성 요소가 소스 블록의 일부인 프로세스 컨트롤러 (process controller) 에 연결됩니다. 센츄라 시엔 겐 (Centura SiNgen) 에는 필름 품질을 높이기 위해 조작 할 수있는 조정 가능한 매개변수 배열이 있습니다. 이러한 매개변수에는 소스 및 반응물 가스의 수 (number) 와 농도, 공정 챔버의 온도, 증착 률 (deposition rate) 이 포함됩니다. 이렇게 하면 수행 중인 응용 프로그램에 따라 특정 필름 (film) 속성을 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SiNgen은 증착해야 할 재료의 유형과 크기에 따라 다양한 크기로 제공됩니다. 또한 모든 구성요소는 사용자 친화적이며 안정적이며, 이 도구는 일상적으로 유지되어 최적의 성능을 보장합니다. 이를 통해 AMAT Centura SiNgen은 박막 재료를 제작하기에 이상적인 도구입니다.